应用纳米工具（Applied Nanotools Inc.，简称ANT）成立于2002年，是纳米微纳加工、集成光子芯片与X射线光学元器件专业代工厂，深耕电子束光刻微纳制造领域二十余年，专注为科研机构、高端光学实验室、半导体及光通信企业提供超高精度纳米结构加工、定制光学器件研发与小批量量产服务，助力前沿成像、传感、光通信、高性能计算等领域实现技术突破。
透射光栅
是一种允许光线通过并产生衍射效应的光学元件。它通常由一系列平行且等间距的刻线或狭缝组成，这些刻线或狭缝可以透光，而它们之间的区域则不透光。当入射光穿过透射光栅时，光线会在每个刻线或狭缝处发生衍射，形成多个衍射级次。这些衍射光束在空间中相互干涉，形成特定的衍射图案，从而实现对光的色散和分析。广泛应用于光谱仪、分光光度计等光谱分析仪器中；也用于干涉测量、全息术等领域中的高精度测量和成像任务。
反射光栅
是一种利用镜面反射原理使光线产生衍射效应的光学元件。它的表面通常镀有一层金属膜或其他高反射材料，以提高反射效率。反射光栅同样由一系列平行且等间距的刻线或凹槽组成，但这些刻线或凹槽是刻在反射面上，而不是穿透整个元件。当入射光照射到反射光栅上时，光线在每个刻线或凹槽处发生反射和衍射。这些反射和衍射光束在空间中相互干涉，形成特定的衍射图案。由于反射光栅利用了镜面反射原理，因此它可以更有效地利用光能，减少能量损失。常用于天文望远镜、激光测距仪等高精度光学仪器中；也适用于大型光学系统中的光束控制和校准任务。
定制用于极紫外光和高能X射线系统的透射光栅。我们的直接写入、快速穿插工艺允许从数百微米到毫米的更高分辨率光栅。各种金属可以在 Si3N4、SiC 或Si 的薄膜上制造。
X 射线光栅
针对 X 射线波段设计的衍射光学元件，利用周期性微纳结构对 X 射线发生衍射、分光、偏转、调制，核心分为透射式和反射式两大类。透射 X 射线光栅是X射线直接穿过光栅基底完成衍射的，可用于软X射线、X 射线成像、光谱探测、脉冲整形等。反射X射线光栅是 X 射线以掠入射角度打在光栅表面，反射后发生衍射，主流用于同步辐射、X 射线光谱仪、EUV、高能光束线。
产品优势
·高分辨率
分辨率可达半节距 20 纳米，等效 50000 线对/毫米。
·定制膜方案
光栅可以制造在硅基或玻璃基材上。对于透射光栅，可用的基材包括薄层氮化硅、碳化硅或厚度在50 纳米至1000 纳米之间的硅膜，基材可以根据应用需求选择。
·高深宽比
高分辨率直写图形工艺可制备定制化结构及适用于硬 X 射线领域的高效率光栅。支持金、镍、铂、钨等金属材料，可实现正胶图形与负胶图形两种光刻模式。
·定制化应用
我们的定制光栅可应用于同步辐射装置及实验室设备，适配多种使用场景。
栅格设计参数展示（可根据要求定制设计）
器件 | 基底材料 | 膜厚度 | 栅距 | 线密度/mm | 刻线与缝隙/mm | 膜层 | 面积 | 设计工作能量 |
500um-80nm-钨 | 钨 | 100nm | 80 nm | 25000 | 12500 | 50-100纳米氮化硅 | 500微米× 500微米 | 200-1000 eV |
500um-80nm-钨 | 钌 | 55-150 nm | 40 nm | 50000 | 25000 | 50-100纳米碳化硅 | 500微米× 500微米 | 20-1000 eV |
1000um-80nm-钨 | 钨 | 100nm | 80 nm | 25000 | 12500 | 50-100纳米氮化硅 | 1000微米× 1000微米 | 200-1000 eV |
500um-50nm-金 | 金 | 150-200 nm | 50 nm | 40000 | 20000 | 50-100纳米氮化硅 或碳化硅 | 500微米× 500微米 | 200-1500 keV |
1000um-50nm-金 | 金 | 150-200 nm | 50 nm | 40000 | 20000 | 50-100纳米氮化硅或碳化硅 | 1000微米× 1000微米 | 200-1500 keV |
2mm-2um-金 | 金 | 4-5μm | 4μm | 500 | 250 | 100-1000纳米氮化硅或碳化硅 | 2毫米× 2毫米 | 3-12 keV |
4 mm-2um-金 | 金 | 4-5μm | 4μm | 500 | 250 | 100-1000纳米氮化硅或碳化硅 | 2毫米× 2毫米 | 3-12 keV |
2 mm-4um-金 | 金 | 6-8μm | 8μm | 250 | 125 | 硅或硅片 | 2毫米× 2毫米 | 8-20 keV |
关于昊量光电：
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
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