光波动场三维显微镜MINUK
公司简介
大塚电子（Otsuka Electronics）是一家日本高科技企业，专注于光学精密测量与分析技术的研发与产业化，核心技术涵盖光散射分析、粒径与Zeta电位测量、薄膜厚度检测及光谱分析等领域。公司以非接触、非破坏式光学检测为核心优势，为半导体、显示面板、新材料、生物医药等多个高端行业提供高精度测量与检测解决方案。
MINUK光波动场三维显微镜
MINUK是日本大塚电子2024年发布的面向透明/半透纳材料纳米级检测的光波动场三维显微镜。不仅可以评估纳米量级的透明异物和缺陷，单次获取高度方向的信息，并且可以无损、非接触、非侵入性地进行测量。另外，还可以高速扫描任何表面并确定测量位置，而无需对焦。
MINUK所使用的观察方法为大塚所独创。通过向测量对象物照射激光，而对象物的厚度和折射率会发生变化，进而导致波面变化，针对这种变化，使用波前传感器其进行捕捉，而后使用独创的软件进行数值解析，再现图像。通过这一设备，使用者可瞬时获取1400微米深度方向的对焦信息，在对此信息进行数码重新对焦后，可进行三维构造的追加验证。同时，在获取数据后，设备可在之后通过软件在任意的深度和位置进行重新对焦。700微米×700微米的宽广视野，可捕捉到小于0.5微米的线的宽度，实现高分辨率，且由于光学系未使用透镜，因此成像无失真和像差。--
光波动场三维显微镜产品特点
可评价纳米级的透明异物、缺陷、伤痕的大小、厚度、形状。
一次拍照即可瞬时获取深度方向的信息。
无需对焦，可高速测量。
可非破坏、非接触、非侵入的测量。
可在任意的面进行高速扫描，轻松决定测量位置。
光波动场三维显微镜技术特点
大视野·高速测量·透明可视化
以往显微镜与MINUK比较
多种模式可选
光波动场三维显微镜应用实例
光波动场三维显微镜产品参数
分辨率 x，y | 691 nm（单次），488 nm（成分） | |||
视场 x，y | 700×700微米 | |||
分辨率 z | 10 nm（延迟） | |||
视场 z | ±700微米 | |||
样本尺寸 | 100×80×t20 mm | |||
（连接多功能样品架时） | ||||
样品台 | 用于微调的自动 XY 载物台 | |||
X：±10 mm Y：±10 mm | ||||
用于粗调的载物台 | ||||
X：129 mm Y：85 mm | ||||
激光 | 波长 638 nm | |||
输出 0.39 mW 以下，Class1 | ||||
（对样品的照射强度） | ||||
尺寸 | 主机：505（W）×630（D）×439（H） | |||
（宽度×深度×高度）毫米 | ||||
重量 | 41 千克 | |||
功耗 | 本体：290VA | |||
*不包括PC和其他配件 | ||||
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