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表面轮廓仪/3D形貌仪

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光波动场三维显微镜

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无损、无需对焦,实现纳米级检测与超高速三维成像

所属类别:光学检测设备 » 表面轮廓仪/3D形貌仪

所属品牌:

产品负责人

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电话: 130 2016 6105(微信同号)

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光波动场三维显微镜MINUK

公司简介

大塚电子(Otsuka Electronics)是一家日本高科技企业,专注于光学精密测量与分析技术的研发与产业化,核心技术涵盖光散射分析、粒径与Zeta电位测量、薄膜厚度检测及光谱分析等领域。公司以非接触、非破坏式光学检测为核心优势,为半导体、显示面板、新材料、生物医药等多个高端行业提供高精度测量与检测解决方案。


MINUK光波动场三维显微

MINUK是日本大塚电子2024年发布的面向透明/半透纳材料纳米级检测的光波动场三维显微镜。不仅可以评估纳米量级的透明异物和缺陷,单次获取高度方向的信息,并且可以无损、非接触、非侵入性地进行测量。另外,还可以高速扫描任何表面并确定测量位置,而无需对焦


MINUK所使用的观察方法为大塚所独创。通过向测量对象物照射激光,而对象物的厚度和折射率会发生变化,进而导致波面变化,针对这种变化,使用波前传感器其进行捕捉,而后使用独创的软件进行数值解析,再现图像。通过这一设备,使用者可瞬时获取1400微米深度方向的对焦信息,在对此信息进行数码重新对焦后,可进行三维构造的追加验证。同时,在获取数据后,设备可在之后通过软件在任意的深度和位置进行重新对焦。700微米×700微米的宽广视野,可捕捉到小于0.5微米的线的宽度,实现高分辨率,且由于光学系未使用透镜,因此成像无失真和像差。--


产品特点

  • 可评价纳米级的透明异物、缺陷、伤痕的大小、厚度、形状。

  •  一次拍照即可瞬时获取深度方向的信息。

  • 无需对焦,可高速测量。

  • 可非破坏、非接触、非侵入的测量。

  • 可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。


技术特点

大视野·高速测量·透明可视化

以往显微镜与MINUK比较

多种模式可选


应用实例



产品参数

分辨率 x,y

691 nm(单次),488 nm(成分)

视场 x,y

700×700微米

分辨率 z

10 nm(延迟)

视场 z

±700微米

样本尺寸

100×80×t20 mm

(连接多功能样品架时)

样品台

用于微调的自动 XY 载物台

X:±10 mm Y:±10 mm

用于粗调的载物台

X:129 mm Y:85 mm

激光

波长 638 nm

输出 0.39 mW 以下,Class1

(对样品的照射强度)

尺寸

主机:505(W)×630(D)×439(H)

(宽度×深度×高度)毫米

重量

41 千克

功耗

本体:290VA

*不包括PC和其他配件




更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。


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