光波动场三维显微镜MINUK
公司简介
大塚电子(Otsuka Electronics)是一家日本高科技企业,专注于光学精密测量与分析技术的研发与产业化,核心技术涵盖光散射分析、粒径与Zeta电位测量、薄膜厚度检测及光谱分析等领域。公司以非接触、非破坏式光学检测为核心优势,为半导体、显示面板、新材料、生物医药等多个高端行业提供高精度测量与检测解决方案。
MINUK光波动场三维显微镜
MINUK是日本大塚电子2024年发布的面向透明/半透纳材料纳米级检测的光波动场三维显微镜。不仅可以评估纳米量级的透明异物和缺陷,单次获取高度方向的信息,并且可以无损、非接触、非侵入性地进行测量。另外,还可以高速扫描任何表面并确定测量位置,而无需对焦。
MINUK所使用的观察方法为大塚所独创。通过向测量对象物照射激光,而对象物的厚度和折射率会发生变化,进而导致波面变化,针对这种变化,使用波前传感器其进行捕捉,而后使用独创的软件进行数值解析,再现图像。通过这一设备,使用者可瞬时获取1400微米深度方向的对焦信息,在对此信息进行数码重新对焦后,可进行三维构造的追加验证。同时,在获取数据后,设备可在之后通过软件在任意的深度和位置进行重新对焦。700微米×700微米的宽广视野,可捕捉到小于0.5微米的线的宽度,实现高分辨率,且由于光学系未使用透镜,因此成像无失真和像差。--
产品特点
可评价纳米级的透明异物、缺陷、伤痕的大小、厚度、形状。
一次拍照即可瞬时获取深度方向的信息。
无需对焦,可高速测量。
可非破坏、非接触、非侵入的测量。
可在任意的面进行高速扫描,轻松决定测量位置。
技术特点
大视野·高速测量·透明可视化

以往显微镜与MINUK比较

多种模式可选

应用实例


产品参数
分辨率 x,y | 691 nm(单次),488 nm(成分) | |||
视场 x,y | 700×700微米 | |||
分辨率 z | 10 nm(延迟) | |||
视场 z | ±700微米 | |||
样本尺寸 | 100×80×t20 mm | |||
(连接多功能样品架时) | ||||
样品台 | 用于微调的自动 XY 载物台 | |||
X:±10 mm Y:±10 mm | ||||
用于粗调的载物台 | ||||
X:129 mm Y:85 mm | ||||
激光 | 波长 638 nm | |||
输出 0.39 mW 以下,Class1 | ||||
(对样品的照射强度) | ||||
尺寸 | 主机:505(W)×630(D)×439(H) | |||
(宽度×深度×高度)毫米 | ||||
重量 | 41 千克 | |||
功耗 | 本体:290VA | |||
*不包括PC和其他配件 | ||||
关于昊量光电:
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。
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