光学表面轮廓仪是一类对光学表面进行三维表面形貌的高精度、非接触式测量设备，具有测量速度快、重复性高、对样品无损伤、适用于大视场和高精度表征等特点，因此被广泛用于精密制造与科学研究领域，如：①半导体工业中晶圆表面结构、光刻胶厚度及台阶高度检测；②光学元件的表面形貌、镀膜均匀性和面形误差分析；③金属加工与精密机械中表面粗糙度、划痕与磨损评估；④微机电系统（MEMS）结构尺寸测量与缺陷检测；⑤材料科学中薄膜厚度、表面应力变化与表面形貌表征
KALEO 多波长激光干涉仪模块
Kaleo MTF测量工作站
λ/1000超高精度激光干涉仪!
点衍射激光干涉仪-大口径（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）无出口限制
TopMap Micro.View 白光干涉仪（3D形貌仪）
TopMap Metro.Lab 白光干涉仪（3D形貌仪）
光学设计中边界条件的处理
变形系统系列（十）-变形系统的近轴像性质-第三部分
波像差系列（七）-球色差、几何色差与波像差的关系
波像差系列（四）-波像差的一般表示式
变形系统系列（五）-近轴近似的双曲面及其曲面法线
变形系统系列（一）-变形系统的概念
波像差系列（三）-轴外点的波像差及其与垂轴像差的关系
波像差系列（二）-轴上点的波像差及其与球差的关系
光学系统质量评价方法
初级像差的参考系统
显微镜中的目镜
高斯光束及通过薄透镜时的变换及激光扩束镜（三）
反射式与折反射式望远镜物镜
平面度测量
折射式望远镜物镜
变形系统系列（十二）-变形系统的近轴像性质-第五部分
变形系统系列（九）-变形系统的近轴像性质-第二部分
变形系统系列（八）-变形系统的近轴像性质
波像差系列（五）-参考点移动产生的波像差、焦深
梯度折射率透镜（一）
变形系统系列（六）-变形成像的理想(一阶)图像模型
波像差系列（一）-波像差概念
博览：2015 Optica 缺陷组件，完美光学
线性成像物镜的光学参数
傅里叶变换透镜（一）
像差理论与计算系列（十）-初级像差计算综述
点衍射干涉仪的精度检验方法
像差理论与计算系列（八）位置色差的计算
正像望远镜中转像系统和场镜
显微物镜
畸变系统的一般像差理论（二）-畸变系统的像差函数和光线像差
变形系统系列（十一）-变形系统的近轴像性质-第四部分
波像差系列（八）-光学系统的像差容限
变形系统系列（七）-变形系统的近轴光纤追迹方程
波像差系列（六）-色差的波像差显示
像差校正的常用方法
变形系统系列（二）-射线的方向余弦及其傍轴近似
线性成像物镜介绍
变形系统系列（四）-双曲面型及其曲面法通用理论
变形系统系列（三）-三维射线传输和折射方程
Virtuallab介绍
像差理论与计算系列（九）-倍率色差的计算
畸变系统的一般像差理论（一）-费马原理和汉密尔顿的特征函数
D7点衍射激光干涉仪用于测量介观显微物镜的检测方案
显微镜的分辨率和有效放大率
193nm紫外波前传感器（512x512高相位分辨率）助力半导体/光刻机行业发展！
Cinogy光束分析仪-为激光束做一次全面的“体检”
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