表面形貌测量标准片/标准样
昊量光电提供表面形貌测量的通用校准件可用于对面形貌测量仪器进行全面校准。该校准件上包含的材料测量数据可根据 ISO 25178-600 标准确定其计量特性。
通常，需要六种不同的几何形状来确定这些计量特性。为了实现常用的5倍至100倍显微放大倍率，布局中包含了面积分别为100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm、800 µm × 800 µm和1500 µm × 1500 µm的不同材料测量区域，从而在样品上总共形成17个潜在的测量区域，涵盖 ISO 25178-600 中定义的所有计量特性。
包括以下材料测量：
1) ⻄⻔⼦星形样品（符合 ISO 25178-70 标准的 ASG 型），⾯积为 400 µm x 400 µm
利用这种材料测量方法，可以计算出与测量仪器的形貌分辨率相对应的测量值。由此，可以确定以原始振幅 50% 的振幅透射的空间频率（空间周期极限）[2]。
2) 啁啾材料测量（CIN 型，不符合现⾏ ISO 标准）：x ⽅向⾯积为 400 µm x 400 µm，y ⽅向⾯ 积为400 µm x 400 µm
通过啁啾材料测量，可以确定形貌保真度的某些方面，这些方面与 ISO 25178-600 [3] 中的形 貌分辨率相关。样品允许分别评估 x 和 y 方向，尺寸为 400 µm × 400 µm，涵盖 0.807 µm 至 48.389 µm 之间的 16 个不同波长。
3) 圆形啁啾材料测量（CIN-r 型，不符合现⾏ ISO 标准），⾯积为 400 µm × 400 µm。
利用圆形啁啾材料测量，可以确定不同方向上的形貌保真度，这与 ISO 25178-600 [3] 中的形貌分辨率相关。样品允许在不同方向上进行单独评估，其尺寸为 400 µm × 400 µm，涵盖 0.807 µm 至 36.830 µm 之间的 15 个不同波长。
4) 平⾯度材料测量仪（ISO 25178-70 标准中的 AFL 型），测量⾯积为 1500 µm x 1500 µm。
利用平面度材料测量仪，可以确定仪器噪声和平整度偏差。这是通过测量 ISO 25178-700 标准中规定的面纹理参数来实现的。
5) 径向正弦波（符合 ISO 25178-70 标准的 ARS 型），其⾯积分别为 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
利用这些材料尺寸，可以对测量仪器的三个轴进行通用校准。因此，可以按照 ISO 25178-70 标准确定被测量值和 。
6) ⼗字光栅（符合 ISO 25178-70 标准的 ACG 型），尺⼨分别为 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
十字光栅材料测量用于校准横轴。计量特性（符合 ISO 25178-600 标准）为局部 x-y 映 射偏差。此外，还可以确定横轴的线性偏差和 、放大系数和以及垂直度PER。
7) 不规则粗糙表⾯（ISO 25178-70 中的 AIR 型），其⾯积分别为 100 µm × 100 µm、200 µm × 200 µm、400 µm × 400 µm 和 800 µm × 800 µm。
这种不规则粗糙表面通常用于确定基于面积振幅的表面纹理参数。该表面采用基于模型 的设计方法确定，并以实际工程表面为原型 [4]。此外，通过对高度轴进行校准，进一步扩展了其功能 [5]。高度轴的校准可通过计算线性偏差和放大系数来实现。这些参数 的确定方法参见 ISO 25178-60x 系列标准。然而，校准并非使用数量有限的特定值，而是利用表面的线性阿博特曲线，通过比较测量高度值与目标高度值，并结合所有测量 点，来确定响应曲线。因此，校准过程中使用了大量的测量点，从而实现了高精度且实用的校准程序。
表 1 测量对象：表中列出了待确定的材料测量的所有计量参数 [1]。
该装置无需更换样品即可在不同的显微放大倍率下进行校准。因此，仅需一个样品，即可替代多种其他材料测量值，从而实现经济高效的校准。其计量特性代表了面形表面形貌测量领域国际标准化的新水平。表1总结了定义的测量参数。表中的标称值是基于目标制造几何形状计算得出的。
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