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膜厚测量仪

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原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU

  • 原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU
真空光学无接触薄膜厚度测量

所属类别:光学检测设备 » 膜厚测量仪

所属品牌:美国Semiconsoft公司

工业应用负责人

姓名:兰工(Hector)

电话:130 6160 8524(微信同号)

邮箱:haige-lan@auniontech.com

微信:点击扫描添加

科研应用负责人

姓名:刘工(Glenn)

电话:185 0177 0670(微信同号)

邮箱:haoan-liu@auniontech.com

微信:点击扫描添加

MPROBE 50 INSITU – 实时薄膜厚度测量仪


 


原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU用于测量薄膜厚度和 n&k(光学常数)的实时光学测量仪。该系统可以在高环境光下工作,因为它使用门控数据采集。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU使用高强度闪光氙灯在宽带 ( UV-NIR) 波长范围内进行精确测量。MProbe 50 系统是完全可定制的,以支持不同的真空室几何形状。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU根据可用的光学端口,可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在样品表面或准直。反射探头可以放置在沉积室光学端口的外部或内部(使用光纤馈通)。MProbe 50 系统没有活动部件。典型测量时间~10ms。可以快速可靠地测量任何半透明薄膜。

 

原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU优势:

1.原位薄膜厚度和 n&k 测量

2.用于高环境光环境下测量的门控数据采集

3.材料:500+ 扩展材料数据库

4.连续、快速和可靠的测量

5.灵活的配置——完全定制以匹配沉积室的几何形状


 原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU选型列表:

MProbe50 

 波长范围

    厚度范围

   VIS

400nm -1100nm

   15nm – 20 μm

 HRVIS

700nm-1000nm

    1μm-400μm

   NIR

900nm-1700nm

  100nm – 200μm

  UVVisF

200nm -900nm

   1nm – 20μm

 UVVISNIR

200nm-1700nm

   1nm -200μm

XT

1590nm -1650nm

   10μm-1mm



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产品标签:原位薄膜厚度测量仪,薄膜厚度测量,实时测量,真空测量,光学测量,无接触测量,半透明薄膜