PHOTON RT 0252 是 EssentOptics 专为光学镀膜质量检测设计的旗舰级分光光度计,单台仪器即可覆盖 185 nm 至 5200 nm 的紫外‑中波红外超宽光谱范围。系统支持 0~75° 可变角度 的绝对透射率(%T)与绝对反射率(%R)测量,内置 220–5200 nm 高对比度偏振片,可全自动完成 S 偏振、P 偏振及平均偏振光谱采集。采用 Czerny‑Turner 单色器与 MgF₂ 镀膜光学元件,配合多轴测量通道与实时光束跟踪技术,实现对平面光学元件、胶合棱镜、衍射光栅等复杂样件的精准镀膜表征。其金镜绝对反射率测量结果自 2019 年起保持行业纪录,全波段光谱拼接完美无伪影。仪器可选配 Z 轴、XY‑MZF、多样品台等多种电动样品台,支持不开盖基线校准、多点扫描、多样品批量全自动测试。凭借 <0.1% 的杂散光、±0.0045 Abs 的光度精度及优于 0.1%/小时的基线稳定性,PHOTON RT 0252 已成为航空航天、国防、半导体及 AR/VR 等领域光学镀膜研发与生产质检的计量工具。

技术参数:
参数项 | 规格值 |
型号 | 0252 |
光度功能 | %T, %R |
有效波长范围 | 185 – 5200 nm |
内置偏振片范围 | 220 – 5200 nm |
单色器光学方案 | Czerny-Turner |
光学元件 | 反射镜 + MgF₂ |
参考通道 | 有 |
波长采样间距 | 0.25 – 100 nm |
样品上光斑尺寸 | 6×2 mm → 2×2 mm |
样品台转角精度 | 0.01° |
探测器转角精度 | 0.01° |
光束位移补偿 | -60.0 … 0 … +60.0 mm(取决于探测器位置) |
变角度测量能力 | • 透射:0 – 75°(使用 7085 样品台可达 85°) |
波长子范围 / 分辨率 / 精度 | 185 – 990 nm |
杂散光水平 | < 0.1% @ 532 nm |
光束发散角 | ±1° |
光度精度(VIS‑NIR) | ±0.0045 Abs(1 Abs);±0.0025 Abs(0.33 Abs);±0.0058 Abs(1.5 Abs) |
光度精度(MWIR) | ±0.0013 Abs(0.13 Abs);±0.0053 Abs(0.49 Abs);±0.0011 Abs(0.82 Abs);±0.005 Abs(1.0 Abs) |
光度重复精度(VIS‑NIR) | 0.0004 Abs(1 Abs);0.0001 Abs(0.33 Abs);0.005 Abs(1.5 Abs) |
光度重复精度(MWIR) | ±0.0003 Abs(0.13 Abs);±0.0008 Abs(0.49 Abs);±0.0022 Abs(0.82 Abs);±0.0034 Abs(1.0 Abs) |
基线稳定性(可见区) | < 0.1 % / 小时(预热1小时后) |
无人值守偏振测量 | S、P、(S+P)/2 |
零级光 / 绿光 | 内置,自动 |
预装光源 | • 氘灯:1 个 |
备用光源(随附) | 卤素灯 2 个(其他备用光源可另购) |
样品仓燕尾槽基板 | 用于安装电动/非电动样品台,集成控制器可自动识别电动台 |
平面样品台 | 用于尺寸 > 12×10 mm 的平面样品透射/反射测量 |
独立定位 | 样品台与探测器单元独立计算机控制 |
同步定位 | 根据所选光度功能同步控制样品台与探测器位置 |
样品尺寸要求 | • 小至 12×10 mm(0–10° 入射) |
PBS 立方体样品台 | 50×50×50 mm,附带 1″ 和 1/2″ 立方体夹具 |
可选样品台(电动/非电动) | MP(多样品测量)、XY(二维映射)、XY‑MZF(多带滤光片/线性可变滤光片)、Z(不开盖校准与测量)、QW(波片测试)、R(绕光轴 360° 旋转)、7085(入射角至 85°) |
接口 | USB 2.0,基于 Windows,英文软件 |
文件保存格式 | .res (txt)、.xls、.pdf、.csv |
功耗 | 110 W |
电源要求 | 110 – 220 V(±10%),50 – 60 Hz |
外形尺寸(宽×深×高) | 425 × 625 × 285 mm |
净重 | 50 kg |
产品特点:
超宽光谱单机覆盖:独特光学设计实现 185 nm – 5200 nm 的单台仪器全波段测量,无需切换设备。
多轴测量通道:支持平面光学元件、胶合棱镜、衍射光栅等样件,可调光束偏移或任意出射方向,满足复杂光路需求。
高灵敏度、低噪声探测器:精选探测器以满足苛刻的镀膜规格,保证测量精度。
灵活可选的电动样品台:提供 Z 轴、XY‑MZF、多样品台等多种电动样品台,支持自动识别与安装,实现快速、复杂或批量测量。
高质量单色器设计:Czerny‑Turner 方案,输出高度准直光束,杂散光极低(<0.1%),信噪比优异。
自动化与智能附件:电动样品台可自动识别;Z 轴样品台实现不开盖基线校准与测试;XY‑MZF 支持多点表面扫描;多样品台全自动多样品测试(含基线校准)。
自动识别电动样品台:
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| Z 轴样品台: 实现自动化的基线校准与测试 | XY-MZF 电动样品台: 用于样品表面多点的测试 | 多样品台: 全自动多样品测试,包含基线校准。 |
测量结果示例:
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金镜 绝对镜面反射 8° 入射角,185–5200 nm | 深紫外干涉反射镜 绝对反射率 45° 入射角,S 偏振 / P 偏振 |
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高反射干涉激光反射镜 绝对反射率 45° 入射角,S / P / 平均 | 分束器变入射角测量 |
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内置实时光束跟踪: 确保高入射角下厚样品的 %T 测量精度 | 专为用于增强现实(AR)和虚拟现实(VR)设备中的光学元件而设计。 |
应用领域:
光学镀膜质量检测与认证:对平面光学元件、胶合棱镜、衍射光栅等器件的镀膜进行绝对透射率与反射率测量,评估增透膜、高反膜、分束膜等性能。
激光光学元件测试:高反射干涉激光反射镜的绝对反射率测量(含 S/P 偏振及平均值),支持 45° 等入射角条件。
深紫外与中波红外光学元件:深紫外干涉反射镜、红外滤光片、中波红外窗口等元件的光谱表征。
分束器及偏振元件测量:分束器变入射角(AOI)测试,内置偏振片支持 S、P 偏振及平均偏振无人值守测量。
AR/VR 光学元件检测:专为增强现实(AR)和虚拟现实(VR)设备中的光学镀膜及元件设计,满足近眼显示等苛刻要求。
薄膜均匀性与多点扫描分析:配合 XY‑MZF 电动样品台,实现滤光片多点、多区或线性可变滤光片的光谱均匀性测绘。
批量多样品全自动测试:通过多样品台(MP Stage)实现包含基线校准的全自动多样品批量检测,适用于生产型 QA/QC。
科研与高端制造:服务于航空航天、国防、半导体光刻、光学镀膜工艺研发、高校及研究所等场景,提供 185–5200 nm 宽波段高精度计量数据。
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