异质结构厚度测量

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异质结构厚度测量

基于ZnO的异质结构用于LED应用。在异质结构中使用多对相同的层来放大光发射。使用MProbe UVVisSr系统(200nm -1000nm)测量层的厚度并验证其光学色散。该结构具有重复60次(ZnO/Al2O3) × 60次的ZnO和Al203层对。

为了确定ZnO和Al2O3的光学常数，测量了这两种材料的两厚样品。

图1 厚氧化铝样品的测量:模型与测量的拟合。测定了Al2O3的厚度和光学常数。

测量厚度:269 nm(光色散见图2)

图2 测量所得Al2O3的光学色散。

色散用柯西近似表示

图3 Al2O3薄样品。从厚Al2O3样品测定的光学色散在这里被用来验证样品的性质是有效的薄膜。厚度测定为7.7nm。图表显示了模型与实测数据的拟合 

图4 厚ZnO薄膜:模型与实测数据的拟合。厚度和光色散由拟合决定。

厚度:342 nm

图5 通过测量厚ZnO样品确定ZnO的光学色散。色散用CP激子模型表示

图6 薄ZnO样品。

模型与测量用光学色散从厚ZnO样品确定拟合。

厚度:12海里。

配合度的差异表明薄ZnO样品的光学性质与厚ZnO样品不同-它看起来更无定形。

图7 模型与(2.0 nm ZnO/2.1nm氧化铝)x60 /Si异质结构样品的实测数据拟合。

测定了氧化铝层和氧化锌层的厚度——所有重复层都假定相同(相同的厚度和分散度)。

通过测量确定ZnO的分散度。

图8 由异质结构测量测定ZnO色散。

图9 从异质结构测量中确定的ZnO色散被用来分析薄ZnO样品-以验证它确实是正确的。

良好的拟合表明ZnO在单一ZnO层和异质结构ZnO层中的色散是相同的。

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