干涉仪多平面测量
干涉仪多平面测量
干涉仪是一个高精度测量方法，但是测量样品多个表面，每个表面都可能返回光束，影响测量。如果需要测量样品的多个面，每次测量一个面的时候，需要在其他面涂抹消光材料抑制反光。这里讲述描述一种，使用可调谐激光器一次性测量样品多个面的方法。
假设干涉仪返回的光束，包含三个面，一个是参考光，第二个是样品前表面的测试光，第三个是样品后边面的返回光束。所以如果相机前的整个光束可以描述为
没有背景光的情况下
通常不考虑背光反射的情况下，干涉图光强分布
求解他的相位部分，可以将整个光束乘以一个复平面后
，做一个低通后求复角度。
做一个低通后求复角度。
低频部分为
，所以只要求他复角就可以得到相位部分
没有背景光，但是移动频率不准确的情况
如果无法准确知道复平面方程的时候，如果假设乘以的复平面是
得到的低频部分为
，求入射光的相位后，相位也会带有一些倾斜，但仍旧是准确的
存在背景光的情况下
光场描述为
整体光强
假设参考光光强为1，前表面反射光强为0.8，后表面反射光强为0.1时的光强分布为
如果仍旧按照之前的做法，继续对光强图乘以，得到
将他在频谱图上描述
从上图可以看出低频部分为
，理想情况下滤除后剩下的低频信号后，获取复角能能够恢复相位。所以可以从傅里叶滤波的角度去恢复待测样品的前表面和后表面的相位信息。
存在背景光的情况下，四步PSI的方法
四步PIS是改变参考光的相位进行的，所以重新定义参考光的方程
改变四次相位后，根据公式计算
如果E3为零，没有背光的情况下，得出的相位是
但是存在背景光后，结果出现了误差
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