首页  技术文章  像散校正光纤光谱仪-数据校准和校正

像散校正光纤光谱仪-数据校准和校正

发布时间:2024-10-17 10:28:48 浏览量:945 作者:Alex

摘要

有多种批量生产的光纤光谱仪可供选择。光谱仪可以被视为商品或关键组件,具体取决于应用。在我们的系统中,光谱仪是一个关键组件——我们非常关心它的性能和稳定性。在大规模生产的光谱仪中,需要进行工程权衡以瞄准z大的细分市场,即商品光谱仪。通常,目标是z小化占地面积和降低制造成本,包括简化组装和校准。 

正文


像散校正光纤光谱仪-数据校准和校正


光谱仪校准通常被理解为“波长校准”。这确实是绝对必要的,每个光谱仪都必须具备它。但还有很多工作要做:暗信号校正、非线性校正、固定模式噪声 (FPN) 校正和各种数据处理选项,例如 Boxcar 平均。


这对于有源 cmos 探测器阵列(如 Hamamatsu S11639)尤其重要,其中每个像素都充当独立探测器。批量生产的光谱仪通常只进行z低限度的校正——足以满足基本用途。



每个像素的信号转换路径。有源 CMOS 探测器由独立的固定硅探测器(像素)组成,每个探测器都有自己的电容器(电荷到电压转换)和源极跟随器。钉扎硅探测器本身具有高度线性并具有相同的暗噪声。然而,独立电容器和源的存在引入了暗噪声、非线性的差异并导致固定模式噪声。理想情况下,所有这些都可以逐个像素地进行校正。



信号校正图。从探测器获取的信号需要暗信号校正、非线性校正以及可选的固定模式噪声校正。


暗信号校正。暗信号取决于积分时间和温度。 ccd 探测器通常具有“暗”像素,用作暗信号的参考。只需从活动像素的测量信号中减去暗像素的信号即可。这在 CCD 探测器中效果很好,因为所有像素中的暗电流基本上都是相同的。 CMOS 探测器也存在类似的选项(例如 Hamamatsu S11639-11)。然而,在 CMOS 探测器中,这种策略的效果要差得多,因为每个像素具有不同的暗信号,并且温度/积分时间依赖性也不同。备用选项是在信号测量之前进行“暗”频谱测量。对于快速和精确的光谱测量来说,这两种方法都是不可接受的。


ARIEL 光谱仪具有针对不同温度和积分时间校准的暗电流。回归系数存储在光谱仪中,并根据检测器温度和所使用的积分时间进行加载。这样可以快速准确地校正固件中的暗信号。



暗信号对积分时间的依赖性是非线性的。在积分时间 < 10ms 时,暗信号变化非常小,在积分时间 > 100ms 时,它实际上是线性的。还发生这样的情况:在较短的积分时间下,暗信号几乎不随温度变化,而在较长的积分时间下,暗信号呈指数增加。这两种情况都单独校准,以减少校准数据量。根据测量条件在固件中自动完成校正。



非线性校正。在 CMOS 探测器中,非线性在小信号(< 范围的 50%)时非常低,而在范围顶 部附近则非常高。 S11639 探测器的典型非线性在低信号时小于 0.5%,在接近饱和极限时高达20%。此外,每个像素的非线性都略有不同。在一些批量生产的光谱仪中,高信号放大用于补偿像散光损失——这进一步增加了非线 性。


ARIEL 光谱仪的残余非线性度 < 0.4%(99.6%线性度),具有全局非线性校正。每像素非线性校正可提供约 99.8% 的线性度。



固定模式噪声 (FPN)。 CMOS 探测器中的 FPN始终存在,因为每个像素都是一个独立的探测器,拥有自己的电子器件(电荷转电压和源极跟随器)。在 Hamamatsu S11639 检测器中,大多数像素的 FPN 通常约为 2%,某些像素高达 10%(检测器规格一如既往地相当宽松,允许高达 +-10% 的不均匀性)。由于基线校准,该 FPN 噪声在实际反射率或透射率测量中得到部分校正。但频谱可能并不完全平滑。大多数情况下是可以接受的。然而,在某些情况下,需要更高质量的频谱。 ARIEL 光谱仪具有可选的 FPN 校准来改善光谱。


了解更多膜厚测量仪详情,请访问上海昊量光电的官方网页:

https://www.auniontech.com/three-level-56.html


更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电

关于昊量光电:

上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。

您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。