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CCD的电荷存储

发布时间:2022-02-15 13:49:05 浏览量:2222 作者:Leo

摘要

电荷耦合摄像器件(CCD)的突出特点是以电荷为信号的载体,不同于大多数以电流或电压为信号载体的器件。CCD的基本功能是电荷的存储和转移,因此,CCD的基本工作过程主要是信号电荷的产生、存储、转移和检测。 CCD有两种类型,一种是表面沟道类型(SCCD),电荷包存储在半导体与绝缘体之间的界面,并沿界面转移;另一种是体沟道或埋沟道类型(BCCD),电荷包存储在离半导体表面一定深度的体内,并在半导体内沿一定方向转移。

正文


ccd的电荷存储

构成CCD的基本单元是MOS(金属-氧化物-半导体)结构。如下图,在栅极不施压的情况下,P型半导体中多数载流子空穴的分布是均匀的。在栅极施加小于P型半导体阈值电压Uth时,在半导体内产生耗尽区。当栅极电压继续增加,并大于阈值电压后,耗尽区的深度和栅极电压成正比。


将半导体与绝缘界面上的电势记为表面电势Φs,表面电势随着栅极电压Ug的增加而增加。下图描述了二者在不存在反型层电荷时,不同氧化层厚度下表面电势和栅极电压之间的关系。从曲线中看出,氧化层厚度越薄,曲线的直线性越好。


当栅极电压Ug不变时,表面电势Φs和反型层电荷密度Qinv之间的关系。下图可以看出,Φs随着Qinv的增加而线性减小。电子之所以被吸附到半导体和氧化层的交界面处,是因为那里的势能最低。



在空势阱情况下,不存在反型层电荷,如图(a);当反型层电荷填充1/3势阱时,表面势收缩,如图(b);当反型层电荷足够多时,表面势减少到最低,表面势不再束缚多余电子,产生溢出,如图(c)。



因此,表面势可以作为电子深度的量度,而表面势又和电压、氧化层厚度有关,即和MOS电容的容量Cox和Ug的层级有关。势阱的横截面积取决于栅极电压的面积A有关。MOS电容存储信号电荷的容量为:

Q=Cox*Ug


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