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超连续介质激光作为显微镜器件光学表征的工具

发布时间:2024-12-05 10:40:09 浏览量:542 作者:Tom

摘要

本文讲述使用超连续谱激光器进行材料光学表征,在用显微镜对器件进行表征时,辐照光束通过样品后,被显微镜的检测系统收集吸收或发射的光,生成光学图像的简述。

正文


超连续介质激光作为显微镜器件光学表征的工具


摘要:本文讲述使用超连续谱激光器进行材料光学表征,在用显微镜对器件进行表征时,辐照光束通过样品后,被显微镜的检测系统收集吸收或发射的光,生成光学图像的简述。


利用超连续介质激光器进行光学表征可以测量不同材料的基本参数,这是光学器件发展和正确性能的主要要求。


他们利用了材料的特性,即每个分子都有自己的吸收和发射线,这取决于材料的电子结构。这意味着某个分子要被激发或发光(即经历跃迁),需要具有特定能量和波长的入射光。这个能量需要匹配原子内部激发态和低能级之间的能量差。


器件光学特性的显微技术一些允许器件光学特性的技术涉及到显微镜的使用。显微镜有几种类型,可以根据光线到达样品的方式进行分类。因此,一些显微镜将使用宽视场辐射操作,而其他显微镜将通过定向光束扫描样品表面(即光片显微镜)。此外,其他配置包括使用扫描探针显微镜来分析感兴趣的表面(即原子力显微镜扫描隧道显微镜)。在用显微镜对器件进行表征时,辐照光束通过样品后,被显微镜的检测系统收集吸收或发射的光,生成光学图像。


一个有趣的扫描探针配置的新兴领域是NSOM或近场扫描光学显微镜技术,它也被称为SNOM或扫描近光学显微镜。它包括一种试图克服阿贝衍射极限的方法,通过使用纳米级纤维探针将光限制在一个小区域内,允许在亚波长尺度上进行地形和光学成像。由于这个原因,NSOM已被证明是一种有用的技术,不仅用于生物学目的,而且用于表征半导体等不同材料。在这种类型的显微镜中,光通过探针传递或收集,该探针可以具有悬臂结构或纤维探针的结构。此外,探头可以在光圈或无光圈模式下工作。在无孔径模式下,AFM(原子力显微镜)探针被涂上一层金属,以增强靠近其尖端的样品部分的电磁场,并与放置在远场的外部光源结合使用以进行照明(图1)。


图1 :无光圈NSOM结构示意图。外部光源照亮靠近悬臂顶端的部分样品。散射回来的光被物镜收集起来。


另一方面,在孔径模式下,光通过扫描探针传递或收集。有不同类型的利用孔径探头的NSOM技术。简单的方法包括:反射NSOM(光从样品上方通过AFM探针传递,并收集反射光)(图2a),收集NSOM(光束从下方聚焦在样品上,探针靠近表面放置),使透射光通过它到达探测器)(图2b)或透射NSOM(其中样品通过探头从上方照射,并收集通过它透射的光)(图2c)。


图2:简单孔径NSOM结构示意图。(一)反映NSOM。(b)收集NSOM。(c)传输NSOM。


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