在薄膜行业和涂层行业中，厚度是一个非常重要的质量参数；厚度和均匀性严重影响着薄膜的性能，所以必须非常精准的测量薄膜的厚
度。而高光谱相机则可以很好的适用于该项应用。
在薄膜行业和涂层行业中，厚度是一个非常重要的质量参数；厚度和均匀性严重影响着薄膜的性能，所以必须非常精准的测量薄膜的厚
度。目前，X射线技术和光谱学技术在薄膜厚度测量方面得到了广泛的应用，不管是在台式监测系统中还是在线监测系统中。
然而，目前使用的一般是单点状的探测器，而在线监测系统一般都是把探测器安装在一个横向扫描的平台上，得到的是一个之字形的检
测点图形而不是整个薄膜，因此只能监测部分样品的厚度。
那么，一个行扫描（推扫式）高光谱相机就可以克服这个限制，它可以监测整个的薄膜或者是涂层区域。在每条线扫描数据中，光谱数
据能覆盖薄膜的整个宽度，并且有很高的空间分辨率。
为了验证高光谱成像技术在这个方面的应用，Specim公司使用高光谱相机检测了4种高分子材料薄膜样品的厚度，使用的是型号为
Specim FX17(波长935-1700nm)高光谱相机。薄膜样品的标称厚度为17，20，20和23um. 使用镜面几何的方法，并且仔细检查干
图形。通过解析图片上光谱位置及距离，就可以得到厚度值。
光谱干涉图，通过镜面反射的方式测量得到的，可以转化为厚度图。
光谱干涉图通过matlab软件转化成厚度图。使用SpecimFX17高光谱相机测得的平均厚度值为18.4um，20.05um，21.7um，和
23.9um. 标准偏差分别为0.12，0.076，0.34，和0.183um。当测试薄膜的时候，并没有拉伸薄膜，这也刚好能解释为什么测试值轻微
的超过标称值了。另外，瑕疵点也被检测到了。 在薄膜1中，我们检测到了2个比较薄的片区， 这也许是外部压力造成的。
高光谱成像相较于光谱学，能显著提高薄膜效率和涂层质量控制系统。因为高光谱相机（例如Specim FX17）每秒钟能获取上千条线
扫描数据。它可以提供100%在线薄膜监测，可以提高产品质量一致性并减少浪费。
相较于目前的基于一个光谱数据点的XY扫描解决方案，它同样可以显著的提高台式监测系统的监测速度。同时高光谱相机也可以减少X
射线传感器带来的辐射危害，因为它仅仅只需要无害的光线。
理论上讲并考虑到一个安全限度，FX10能测量厚度梯度从1.5um到30um，而FX17适用于厚度从4到90um。
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