本文主要讲述了Semiconsoft公司的台式薄膜测量系统的各种优势。
膜厚测量原理（六）-台式薄膜测量系统的优势
MPROBE20
数秒内的薄膜测量
台式MPROBE20可以快速、简便地测量厚度，光学常数（n和k）和透射率。这台功能 齐全的仪器能测量1纳米到1毫米厚的透光或半透光的薄膜。精度一般在几个埃。光斑大小可调节并且范围很宽。
超高的性价比
Semiconsoft很高兴能提供突破性的低价格，使原本又困难又昂资的薄膜测量变得很便宜很简单。
附件
多种不同的平台，晶圆平台和特殊测量探头可适合大部分样品的尺寸。
在线测量
针对制程应用，Semiconsoft的测量系统仅需要在光路上直视待测样品，并提供与多种控割系统的接口。
把显微镜变成薄膜厚度测量工具
用于图形化表面和光斑小至10微米的薄膜厚度测量应用。
MPROBE20可以方便地与绝大多数显微镜相连。标淮c型精接器可以和测量点的ccd相机相连。
厚度测绘系统
将MPROBE20厚度测量功能和直观操作作延伸为大面积样品的自动测绘。
几分钟内显示样品的均匀性。五不到数百个点 的扫描速度可达每秒1个点。最大到12英寸晶圆的标准平台。晶圆平台可随客户需要自定。
一般规格 | VIS | VISHR | VISNIR | NIR&NIRHR | UVVISR | UVVISF | UVVISNIR |
| 测量厚度范围 | 10nm-75um | 1um-400um | 50nm-100um | 50nm-1800nm | 1nm-75um | 1nm-5um | 1um-150um |
| 光源 | 卤素灯（氙灯） | 卤素灯（氙灯）&氘灯 | |||||
| 波长范围 | 400nm-1000nm | 700nm-110nm | 380nm-1700nm | 900nm-1700um 1500nm-1550nm | 200nm-1000nm | 200nm-1000nm | 200nm-1700nm |
| 准确度(取较大者) | <0.2% 或1 nm | <0.1% 或1 nm | <0.2% 或1 nm | ||||
| 精度（分辨率） | <0.01nm或 0.01% | <0.1nm或 0.1% | |||||
| 稳定性 | <0.02nm或 0.03% | <0.2nm或者 0.3% | |||||
光斑大小 | 标准1mm,最小0.5mm | ||||||
| 光源寿命 | 最高可达10000小时寿命 | ||||||
了解更多关于膜厚测量系列详情，请访问上海昊量光电的官方网页：
https://www.auniontech.com/three-level-56.html
更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电
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上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
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