薄膜特性通过计算厚度实验值及n与k模型参数的反射光谱来确定，不断调整这些数据，直到计算反射率和测量反射率相匹配。
膜厚测量原理（四）-膜厚测量的方法
可变量的个数，光谱反射法的局限
光谱反射法可以测量多种类型薄膜的厚度，粗糙度和光学常数。但是，如果只有不到一个周期的反射率振荡（如：薄膜太薄），那么就不会产生足够的信息来确定模型的可变量。这样，对于非常薄的薄膜，可确定的薄膜特性的数量就会减少。如果试图解决太多的变量，不可能找到唯一的解答；这种情况下待求变量的多种组合都可能使得反射率计算值与测量值匹配。
取决于薄膜和测量的波长范围，光谱反射法测量的单层薄膜的最小厚度为1纳米到30纳米。如果还要测量光学常数，除非使用最少变量模型，可测最小厚度增加为10纳米到200纳米。如果测量超过一层的薄膜的光学特性，最小厚度将进一步增加。
光谱反射法与椭圆偏光法
基于上面列出的限制条件，光谱反射法能测量绝大部分的重要薄膜。但是，当薄膜太薄，层数太多，用光谱反射法测量太复杂时，可以用一般情況下更有效的方法 -- 光谱椭圆偏光法，来测量。
该方法是测量斜射光 （通常比垂直入射偏离750) 的反射光谱。椭圆偏光法对非常薄的薄膜更敏感，两种不同的偏振测量提供双倍信息用于分析。此外，椭圆偏光法可进行多种不同入射角度的反射光谱测量，因而产生更多分析信息。
而由昊量光电代理膜厚测量仪可提供的光谱反射系统。如果您不确定光谱反射法还是椭圆偏光法更适合您的需要，请与我们联系。如果光谱反射法不能满足您的要求，我们将非常高兴地为您推荐梢圆偏光法的著名广商。
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