MProbe 40 测量薄膜厚度和折射率单击鼠标在小地方。显微分光光度计 (MSP) 集成在系统中同时结合显微镜，用于小点薄膜厚度测量。微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP用于数千种应用程序，并提供完整的标准模型系列来支持它们。微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP可以快速可靠地测量 1 纳米到 2 毫米的厚度，包括多层薄膜堆叠。不同的模型主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分，这反过来又决定了可以测量的厚度范围。
微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP的应用：
1. 测量圆柱或曲面上薄膜厚度：注射器、支架、销钉、电线等。即使在高度弯曲的表面上，小点也会产生平坦的场以实现精确测量。
2. 不均匀、粗糙的涂层或光散射材料，如高雾度或纳米粒子注入薄膜。小光斑定位测量有效地减少光散射和不均匀性的影响
3.图案晶圆、MEMS 和其他需要高灵敏度领域的小区域测量的应用。
微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP基本规格：
精度 | 0.01nm或0.01% |
准确度 | 0.2%或1nm |
稳定性 | 0.02nm或0.03% |
聚焦点尺寸 | 0.2mm或0.4mm |
样品尺寸 | >20mm |
厚度范围 | 0.05-70um |
波长范围 | 400-1000nm |
微小区域薄膜厚度测量仪-MPROBE 40 MSP选型列表：
MProbe 40 | 波长范围 | 厚度范围 |
VIS | 400nm -1100nm | 10nm – 75 μm |
UVVISSR | 200nm -1100nm | 1nm -75μm |
VISHR | 700nm-1100nm | 1μm-400μm |
NIR | 900nm-1700nm | 50nm – 85μm |
UVVisF | 200nm -1700nm | 1nm – 85μm |
UVVISNIR | 200nm-800nm | 1nm -5μm |
NIRHR | 1500nm -1550nm | 10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si) |
*可根据要求设计定制探头
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