高精度角位移台
角位移台又称为摆动滑台、α轴摆动平台等，是用在在小角度内精确旋转物体的平台，它提供的不是线性运动而是绕着空间固定一点进行旋转。
AU-SGO系列压电马达角位移台由压电马达驱动，使用高精度交叉滚珠轴承，可提供极高的分辨率，并且行程可达到±5°，适用于微米或纳米定位。该平台可提供不同的旋转半径。主要包括以下产品。
AUSGO-60.5 | AUSGO-77.5 | AUSGO-93.5 | |
Picture |
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Travel [°] | ±5 | ±5 | ±5 |
Max. Normal Force [N] | 5 | 5 | 5 |
Center of Rotation [mm] (above working platform) | 60.5 | 77.5 | 93.5 |
Closed-Loop Resolution [µrad] | 0.03 | 0.03 | 0.03 |
Closed-Loop Repeatability, Full Stroke MCS2 [µrad] | 0.12 | 0.12 | 0.12 |
此外可以将两个合适半径的平台组合在一起组成欧拉角位移台，此外还可以与线性平台组合组成多维运动系统。 另外该平台还可以用于不同的环境下，例如真空和超高真空环境。
应用实例：
1、 具有六个自由度的定位系统（X;Y;Z;a;b;Zθ）
角位移台可以与我们的其它运动模块组合组装为多维运动系统，如下图所示，与两个线性平台和升降台组装成XYZ平台，在XYZ系统的顶部安装了两个测角仪SGO-60.5和SGO-77.5，以及一个SR-5014旋转台，由于外部尺寸和安装孔匹配，三个旋转阶段具有相同的旋转中心（由绿色球体表示）。
主要特点
l 高精度（0.03µrad）
l 可在真空和非磁环境
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