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域,与周围的静电驱动器具有相同的微细加工步骤。这些镜子是由同样的硅层构成,具有几乎完美的平面和光滑的硅表面,镜子双轴连接到轴向连杆,提供两轴运动。所有库存的集成镜都涂上了纯铝,在很宽的波长范围内具有很高的反射率。黄金金属化可以在晶圆规模上进行,因此可以用于更大的订单生产。粘结镜与硅驱动器结构分开制作,用于在设备顶部进行后续的微组装。因为这些镜子是附加在设备驱动器结构之上,不占用驱动器区域的一部分,因此基本上可以在任意大小。粘合镜方法允许用户选择尺寸,以及每个应用的镜子的几何形状,以优化速度,光束大小和扫描角度之间的关系。以前批量制造硅器件如两轴MEMS反射镜器件,只允许一种类型/尺寸的反射镜作 ...
程度上是由于静电驱动方法和单晶硅材料的选择。镜面运行机构开环驱动的机械倾斜位置精度在每轴上至少14位(16384点)。对于大多数设备,每个轴上的机械倾斜范围为-5°到+5°,这种倾斜分辨率在0.6毫米或10微弧度内。一系列的驱动电压对应点对点扫描的一系列角度。Mirrorcle技术公司(MTI)的设备可以在非常宽的带宽内工作,从直流(它们在恒定电压下保持位置,设备功耗几乎为零)到几千赫兹。这种快速和宽带能力允许几乎任意的波形,如矢量图形,匀速线扫描,点对点步进扫描,目标跟踪等。图1 Mirrorcle专利的无框架两轴扫描驱动器的示例示意图(该驱动器基于四个静电双向旋转器,通过特殊的硅支架连接) ...
示意图4. 静电驱动的薄膜变形镜1976年,Perkin-Elmer公司的M.Yellin等人发明了用薄膜作为镜面,静电力驱动的变形镜,如图5所示。这是变形镜领域的一个突破,相比传统的压电变形镜工艺简化,造价明显降低,只是薄膜制备工艺和装配过程还是需要技巧。图5 薄膜变形镜的原理及电极示意图5. 双压电片变形镜由压电陶瓷片构成的双压电片结构(Bimorph)作为驱动器在1960年就已经广为使用,但一般制作成长条状的悬臂梁结构,如图6所示。相比于其它类型的变形镜,双压电变形镜的优点是结构简单、变形量大,可以做到中等口径。双压电片的制造工艺要比层叠驱动器的变形镜简单,不用制成成排的驱动器,只需将两 ...
描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是,利用电能转换为热能,再转换为机械能驱动,其优点是驱动力和驱动位移较大,但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动,具有驱动力大、响应速度快等优点,但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动,具有较大的驱动力力和驱动位移,但是响应速度偏慢,且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动,具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用广泛的驱动方式。下图给出了各种驱动方式的性能对比:驱动方式速度力幅度电压压电驱动快大小高电磁驱动慢大大低热驱动慢大大较低静电驱动快小较小高 ...
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