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可靠性。采用无万向节设计,使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。实现深度180微米三维成像和多平面快速切换实时成像。该模块由一个快速电动变焦镜头和一对中继镜头组成,在不同深度成像时放大倍数恒定。其中,变焦模块重量1.8克,研究人员可根据实验要求自由拆卸。此外,新型微型化成像探针还可以整个瞬间拔插,大大简化了实验操作,避免了在动物身上进行长周期实验。采用一组神经元在反复加载和卸载探针跟踪,场旋转角度小于0.07弧度,边界偏差小于35微米。参考文献:https://www.nature.com/articles/s41592-020-01024-z昊量光电作为Mirrorcle在 ...
Mirrorcle MEMS扫描镜技术概述(2)独特的四象限倾斜性能几年前,MirrorcleTech的无框架技术还处于发展的早期阶段,在一代ARIMEMS1到ARIMEMS6中制造的所有设备都是单象限(1Q)或单向类型设备。这指的是每个轴(仍然是两轴或双轴2D设备)能够使镜子从静止位置(0°)偏转到一边(例如+8°),但不能偏转到另一边(例如-8°)。因此,典型的一象限(1Q)设备实现了X轴上0°到+8°的机械倾斜,Y轴上0°到+8°的机械倾斜。今天,在MEMS镜面行业的产品中,所有设备类型都提供四象限(4Q)光束转向能力,通常允许整体更大的总尖端/倾斜角度(两个轴)。四象限器件的线性化驱动 ...
45°以上。无万向节的两轴反射镜由静电致动器驱动。它们的旋转角度严格遵循平方律,即角度与施加电压的平方成比例。这种固有的非线性通过专用的偏置-差分驱动电路线性化。在机械上,这些反射镜的行为近似于具有30-80的高Q的二阶(质量弹簧)系统,因此需要适当调节的驱动信号才能获得良好的控制性能。在开环驱动中,对施加的电压波形进行平滑处理(输入整形和/或滤波)可防止器件谐振时出现过冲和机械振铃。该产品的软件和硬件驱动程序实施多种方法以提供线性化以及快速稳定的点对点光束控制。一、标准发套件三个无万向双轴MEMS镜第 一面反射镜,直径为1.2mm,机械角度为+ -5°(A3I12.1-1200AL-TINY ...
无万向节MEMS扫描镜光学扫描镜是一种矢量扫描设备,能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高,且多为散装,大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点,以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同,MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜,一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转,二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描,可以选用两个一维的扫描镜,也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大 ...
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