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原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中,薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄,在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中,确认薄膜材料是否正常生长,以及能否产生所需的特定物性,就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行,通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积(CVD)腔室中取出,然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法,是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是,从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触,从而改变物性,很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题,也 ...
前分析仪可以实时监测晶圆的表面形貌和光学特性,以确保制造过程的一致性和质量。它可以帮助工程师及时发现问题并进行调整,从而提高生产效率和产品质量。2)芯片检测:可以检测芯片表面的形貌、结构、电路布局等参数。波前传感器可以用于检测芯片封装后的光学性能,如光功率、光束质量等。这对于确保芯片在封装后的可靠性和性能非常重要。同时波前传感器可以通过高速测量和数据处理,实现快速检测,提高生产效率。随着人工智能和自动化技术的发展,波前分析仪可能会与这些技术相结合,实现自动化检测和分析。这将有助于减少人为误差,提高检测效率和准确性。3)封装检测:可以检测封装后的芯片的焊点质量、封装材料的折射率分布等参数。利用波 ...
性分析,甚至实时监测扩散过程。图6. 实验前采集的两个:一个来自干燥的地方(中间),一个来自潮湿的排水沟(底部)。用太赫兹透明胶带粘在1毫米厚的特氟隆片上;通过图像处理去除特氟隆和胶带条纹,以获得更好的视觉清晰度;部分仍然可见。不同的叶子(b)的太赫兹图像与一对镊子增强对比度(垂直线)和特四氟乙烯薄片的边缘(顶部,水平)可见。水分含量越高,明显表现为亮度越低。图像拼接与自相关从单帧的实时一维扫描。一个典型的后处理单框架阐述了干的(c),湿的(d)和非常湿的(e)叶。3.5 薄木样品一个0.19毫米薄的切片机切割的木材样品被安装在一个可旋转的支架中。在样品和相机之间使用3mm的特氟隆实现热图像抑 ...
率的变化可以实时监测,以获得电极表面发生的分子相互作用或反应的有用信息,如薄膜生长、氧化、腐蚀或衰减等。因此可以把石英晶振仪作为工作电极衬底,从而用于监控薄膜生长过程中的薄膜厚度。石英晶振仪能给出沉积的量的多少,但是无法给出生长的模式,因此通常用于配合其他的测试方法,如椭偏仪。质谱仪法是通过用电场、磁场把运动的带电荷原子、分子和离子等粒子,按其比荷进行分离检测的方法。不同带电粒子其质荷比不同,偏转的时间也不同,质谱仪就可以将这些不同的时间、位置等信息转变成光学数据,通过质谱图呈现出来,这样混合物中的各种成分就可以被解析观察。可以用于解构在电化学过程中溶液的变化等。了解更多椭偏仪详情,请访问上海 ...
以实现样品的实时监测和控制过程。在位监控原理如1-2所示,在位测试的搭建过程中,需要注意测试装置、椭偏仪的匹配。监测窗口要位于测试沉积基底较远的地方,以避免沉积在窗口上。此外,监测窗口会影响光的偏振状态,因此必须对其进行表征。图1-2利用椭偏仪测量的示意图反射椭偏仪是研究薄膜生长和表面吸附的一种有力工具。在位椭偏谱测量中,应用zui广泛的仪器是旋转偏振片椭偏仪。在旋转偏振片椭偏仪中,仪器的起偏器或检偏器(RPE)、分析仪(RAE)或补偿器(RCE)随时间连续旋转。另外一种相位调制椭偏仪(PME),没有活动部件因此测试较快但是也较昂贵。在位光谱椭偏测量的数据采集方式决定了测量间隔和测量精度。光电 ...
能技术相结合实时监测病人身体的癌细胞,及时做出反应,配合医生对患者进行康复治疗;3)将椭偏成像技术的zui新发展实用化,研制可用于工业生产过程中使用的成像椭偏仪,在半导体、微电子等产品的生产过程中实现实时监测;4)通过解决图像传感器的低频响应和降低系统噪声来减小图像采集的误差;5)建立包含成像椭偏仪的校准因素的系统模型, 以减小成像椭偏仪的测量误差;6)对半导体工业常用薄膜材料建立准确的物理模型, 以减小系统的计算误差;7)引入能够同步进行数据获取和数据处理的控制系统, 并利用优化算法, 较快得出薄膜系统待求参量, 以提高椭偏仪的测量速度, 增强椭偏仪的在线检测和控制功能。椭偏成像技术保持了传 ...
、结果直观、实时监测的要求。在半导体方面,椭偏成像技术可以有效检测半导体材料的形态、均匀性和光学性能。例如,检测噻吩-亚苯基低聚物晶体等在微电子器件和柔性电子方面有巨大潜力的有机半导体微晶,快速观察和区分单层和多层微晶,获得双轴半导体材料的光学特性。2020年,韩国三星设计了一种基于椭偏成像的半导体器件的检查方法,用于检测半导体材料的晶态、形状、化学结构和电导率等性质。该技术还可以用于对激光二极管(LD)的检测,可以检测LD发射表面上的抗反射涂层的光学性质,从而获得LD的发射波长、线宽、寿命、稳定性。如果您对椭偏仪相关产品有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.aunio ...
过程中,可以实时监测Co25Pd75膜中的空间分辨磁性行为。如果您对磁学测量相关产品有兴趣,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-150.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等;可为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等服务。您可以通过我们昊量光电的官方网站www.aunion ...
整设置时用于实时监测。X和Y输出均可用于双通道成像。对于三路激光器的情况下, Moku:Pro 多仪器并行模式可以配置两个锁相放大器, 将系统简化为一个设备而不需要任何妥协。这使得研究人员可以同时拍摄两张波数差较大的 SRS 图像, 利用一个 Moku:Pro 来处理两个光电二极管检测器信号。图4: Moku:Pro多仪器并行模式配置多通道锁相放大器图 4 演示了多仪器并行模式配置使用两个锁相放大器用于同步 SRS 显微镜实验。对于插槽 1 中的锁相放大器, 输入 In 1 是第1个光电二极管的检测信号, In 2 是参考信号, 输出Out 1是发送到外部数据采集卡的信号, Out 3被弃置。 ...
处理,这使得实时监测肉类中β-激动剂的残留变得困难。拉曼是一种基于高能光辐射与分子振动相互作用的振动光谱技术。当单色激光束击中样品时,光会被散射,其中包括弹性散射和非弹性散射。传统的拉曼测量是在样品表面的一个点上进行的,由于激光光斑的自然尺寸,通常不能覆盖大尺寸的样品区域。因此,光谱学方法无法获得空间信息。表面增强拉曼光谱(SERS)是一种基于增强局部电磁的新型光谱传感技术。SERS是一种新型的分析工具,提供了超灵敏的有机化学品和微生物的检测和表征。纳米结构贵金属表面附近的电场。SERS已被广泛应用于许多领域,如诊断、环境监测、生物检测和食品安全。近年来,SERS技术也被应用于β-受体激动剂的 ...
,以及其用于实时监测样品而不是更传统的方法(如ELISA)而广泛受到关注。阻抗法最重要和实用的优点之一是不需要酶标记来检测样品。EIS也是一种众所周知的研究纳米材料电学性质的技术。纳米材料结合电化学生物传感器(阻抗生物传感器)是诊断疾病的新选择。EIS方法已经被用于监控这些生物传感器的制造过程和识别电极表面的分析物。基于电化学阻抗的传感器由于其固有的优点,如无标记方法、操作简单、灵敏度高、分析时间短、尺寸小和自动化潜力,越来越多地被研究用于临床诊断。EIS技术是通过施加正弦电势并记录对表面具有最低有害影响或极化效应的电流来监测表面电极的行为。值得一提的是,EIS分析法测量电极和生物敏感膜的小信 ...
件可用于光束实时监测 、测量激光光斑尺寸 、质心位置、椭圆度、相对功率测量(归一化数据)、二维/三维能量分布(光强分布) 、光束指向稳定性(质心抖动) 、功率稳定性 (绘制功率波动曲线)、发散角测量等 ,支持测量数据导出 ,测试报告PDF格式文档导出等。主要特点:1、芯片尺寸大,可达36mm2、精度高,单像元尺寸可达4.6um3、支持C/C++, C#,Labview, Java语言等多种语言二次开发主要技术指标:RT option:CMOS/CCD-xxx-RT:响应波长范围:320~1150nmUV option: CMOS/CCD-xxx-UV:响应波长范围:150nm~1150nmCM ...
以帮助操作员实时监测血流等动态过程。然而,散焦信号和散射光往往与目标信息一起被收集,从而成为强背景,并降低图像对比度。因此一些先进的 NIR-II 显微成像技术,如共聚焦和光片显微镜等被提出来,旨在通过调整采集和激发模式来抵消图像背景。当前不足:如今,NIR-II荧光成像已经用于临床指导复杂的肝肿瘤手术。然而,光吸收的建设性作用在某种程度上似乎被忽视了。高质量图像的最终采集往往是通过使用更长的波长,夸大其对散射抑制的积极效果,并认为同时产生的吸收会衰减有用的信号。而事实上,一些工作已经揭示散射介质中吸收引起的分辨率增强,这是由于背景信号经历了更长的光程。然而,如何充分利用光吸收来选择合适的荧光 ...
面板生产线中实时监测液晶显示屏的闪烁度。四、测试模式1.Contrast Method(FMA)方式假如液晶显示器的亮度变化如图3所示,亮度的AC成分等于Vmax-Vmin,亮度DC成分等于(Vmax+Vmin)/2。图3 显示画面的亮度变化曲线2.Contrast method – RMS计算公式如下:3.根据Jeita 方法测量当待测讯号是由不同频率的讯号组成时,如图4所示,采用VESA FMA的方式是无法准确测到Flicker对人眼的影响。所以引进了Jeita的测量模式。如下图解:图4 不同频率的讯号组成示意图探测器获取到了如下时域图傅里叶变化后的频域图人眼的灵敏度对Flicker的感受 ...
程网络就能够实时监测电力设备的温度变化和异常。光纤光栅传感器这种突出的优势,有利于在变电站使用,同时采用分布式传感,可以解决输电过程中的监测问题。比如应对输电线路结冰、风致摇曳、负荷超温等。1.4石油化工中的应用石油化工领业为易燃易爆的领域,传统电子电学类物理传感器并不适用于成品油的油气罐、油气管道的监测。而光纤光栅耐腐蚀、抗电磁干扰,非常适合应用在石油化工业中。其应用点除了温度和压力测量,还有流量测量、井压、振幅监测等。在钻探领域,高温高氢环境可使用碳涂覆光纤光栅,这样既可以避免氢致失效,又能够在高温环境中测得井内压力,避免井内压力过高影响生产。(声明:本文部分图表参考自CNKI或SIPE数 ...
物质的长期、实时监测系统。为了解决这一问题,我们开发了一种基于微腔阵列(MCA)的无标签监测系统,消除了对关键hCMC粘附和生长步骤的需要。相比之下,在微腔内定位后,可以立即记录可行的场电位衍生的动作电位。此外,这种方法允许对hCMC的不良影响进行更广泛的观察。本文首次在保持hCMC结构和电生理特性的同时,对其进行了35天的监测。此外,我们还展示了E4031、阿霉素和去甲肾上腺素直接在未改变的3D培养上对不良API影响的敏感检测和量化。MCA系统提供多参数分析能力,包括场电位记录、阻抗谱和单个簇的光学读出,从而全面了解复杂心脏培养中数天甚至数周内诱导的细胞改变。https://journals ...
解调结果进行实时监测。1. 首先,我们连接Moku:Pro,在仪器选择页面选择并进入多仪器并行模式。2. 我们将在插槽1-3中部署锁相放大器,并在插槽4中部署示波器。我们将模拟输入1的信号连接到每个锁相放大器的输入A当中,并将锁相1-3的输出A分辨链接给模拟输出1-3上。然后,我们将锁相1与锁相2的输出A连接到数据总线(Bus)1与2上。下一步,我们将锁相1的输出B连接到输出4上,用于输出1 MHz的本机振荡器信号。最后,我们将两条数据总线连接到示波器的输入A与输入B中,用于观测1 MHz与2 MHz的解调结果。点击运行部署仪器。3. 下一步,我们需要分别设置每个锁相放大器。点击每个仪器图标下 ...
光源在长时间实时监测的光散射法中大显身手。下面我们来看看华中科技大学研究小组利用法国oxxius激光器在光散射法测PM2.5的应用华中科技大学研究小组在光散射法模拟监测大气PM2.5污染特性的研究中利用昊量光电独家代理的法国oxxius公司634nm半导体激光器搭建了散射光双探测器探测光路,光路如下图。双角度散射光探测系统固定于光学平台上。光源为634nm波长的半导体激光(oxxius LBX-634S),激光器出射激光通过光纤与准直镜连接。入射光强为水平偏振且强度约为20mW。光束直径为6mm,通过光阑后仅保留中心直径2 mm的部分,以减少高斯光束对散射的影响。固定角度探测器位于45°散射角 ...
可靠性,需要实时监测光信号的质量。在光采样系统中,利用低速率的采样光对高速光学信号在光域内进行采样,光采样时钟的质量是系统性能最根本的影响因素与限制条件。光采样时钟的时间抖动、幅度抖动、脉冲宽度以及稳定性直接影响光采样的效果。高稳定性、窄脉宽、高重频、低时间抖动的皮秒激光器是光采样系统中理想的采样脉冲源。引 言:随着超高速光纤通信的不断发展,要保证通信系统的稳定性和可靠性,需要实时监测光信号的质量。目前,单波长传输速率为40Gb/s光纤通信系统已经实现了商用化,与此同时,光通信的发展还带来很多问题。目前最快的光电探测器和电采样示波器所能达到的测量带宽只有80GHz左右。针对上面提到的问题,可以 ...
件可用于光束实时监测 、测量激光光斑尺寸 、质心位置、椭圆度、相对功率测量(归一化数据)、二维/三维能量分布(光强分布) 、光束指向稳定性(质心抖动) 、功率稳定性 (绘制功率波动曲线)、发散角测量等 ,支持测量数据导出 ,测试报告PDF格式文档导出,满足日常激光参数测量需求。主要特点:芯片尺寸大,可达36mm*27mm精度高,单像元尺寸可达4.6umRayCi 64软件支持C/C++,C#,Labwiew,Java语言等多种语言二次开发 主要技术指标:相机型号CinCam CMOS-3501CinCam CMOS-3502CinCam CMOS-1.001-Nano波长范围350~1100n ...
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