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拉曼光谱用于表征二维材料薄膜厚度测定薄膜材料厚度的常用技术包括光学方法,如反射光谱法和椭偏法。在某些情况下,例如当薄膜生长在透明的衬底上时,这些光学技术可能具有挑战性,不能提供准确的结果。蓝宝石上硅(SOS)薄膜就是一个例子。对于原子薄的二维(2D)材料,原子力显微镜(AFM)是常用的厚度测量方法,然而,AFM是耗时的,并且只能给出不同位置之间的相对厚度差异。光学对比也是表征多层二维材料(如石墨烯3、4和过渡金属二卤化物(TMDs))层数的强大工具。然而,光学对比方法仅限于极少数(<10−15)层。拉曼光谱是一种基于光在材料振动模式下的非弹性散射的光学光谱技术,常用于表征薄膜和原子层材料 ...
mW)证明了薄膜层数和ALD圈数之间成线性关系,且随着薄膜层数的增加摩擦减少,即随着MoS2厚度的增加,受基地影响的的2D MoS2的层相关摩擦性能减弱,如图1(a)和图1(b)所示。除此之外,通过高斯公式计算摩擦力的分布可以得到每次等离子处理的平均摩擦力,且发现等离子处理10s的Al2O3基地上沉积的MoS2的平均摩擦为1个ALD循环,并且其值最低,如图1(c)所示。基地表面上的官能团可以通过O2等离子处理获得,因为O2等离子体处理可有效增加Al2O3基地上的枪羟基的数目,即等离子体处理可以增加基地表面活性位点的数量,其可控制ALD上MoS2第一层的生长,因此单层MoS2的摩擦特性可以被控制 ...
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