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绝对距离测量方法研究大量程、高精度的绝对距离测量方法主要分为两类:一类是相干测量,另一类是非相干测量。相干测量主要包括多波长干涉测量、线性调频干涉测量以及基于光学频率梳的测量方法。非相干测量则主要包括飞行时间法和相位测距法,飞行时间法通过测量激光信号在测量端与目标端的飞行时间来计算被测的距离,测量距离大,可以达到几十千米;相位测量法通过对激光光强进行正弦调制,然后通过测量目标端与测量端的相位差来计算被测距离,本质上是将飞行时间转化为相位差进行测量,这种方法在大距离测量的时候由于环境因素的影响会导致回光能力的迅速衰减从而引起较大的测量误差,一般最高只能达到0.1mm 的测量精度;相干测量方法利用 ...
激光干涉中周期性非线性误差的思考位移是最基本的几何参量之一,因其容易检测、且相对检测准确度高,所以在许多情况下将被测对象的物理量转换为位移量是十分实用的解决方式。在涉及纳米/亚纳米级别的的微位移测量中,激光干涉法因具有可溯源性,非接触性,可分辨率高等特点。在纳米级别的精密测量中占有绝对地位,本文将针对常见的激光干涉方式进行介绍,并针对对应出现的误差做了简单的分析 非线性周期性误差是广泛存在于各类测量设备中,在纳米级别的测量中其导致的误差经常使得实验数据失效。形成误差的原因多种多样,最主要的原因一般为两类:一类是信号 ...
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