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微透镜阵列焦距检测方法1,千分尺测量法西安工业大学通过透镜焦距和透镜镜面半径的理论关系,利用显微镜测量微透镜阵列子单元的直径并用千分尺测量矢高,从而完成焦距的测量,图 1-1所示。图1-1 平凸透镜焦距示意图对于一般的平凸型微透镜阵列,利用显微镜和千分尺分别测量子单元直径 Ф和矢高 h,计算其焦距为: (1-1)早期的微透镜阵列制造常采用熔融光刻胶法制作,形成的是平凸面形的透镜,利用该方法能完成相应的焦距测量。由于平凸透镜焦距受凸面曲率半径限制,使得该类型微透镜阵列的应用受到较大的局限。另外,该检测方法采用千分表接触是测量微透镜阵列的矢高,易造成微透镜表面的 ...
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