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原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中,薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄,在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中,确认薄膜材料是否正常生长,以及能否产生所需的特定物性,就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行,通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积(CVD)腔室中取出,然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法,是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是,从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触,从而改变物性,很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题,也 ...
搭建相干拉曼系统时如何验证信号的真伪与自发拉曼散射相比,CRS技术可以产生更强的振动敏感信号。CRS技术在光学显微镜中的普及与这些大大提高的信号水平密切相关,这使CRS显微镜的快速扫描能力成为可能。然而,除了更强的振动信号之外,相干拉曼相互作用还提供了丰富的探测机制,用于检查各种各样的分子特性。一般来说,CRS技术比自发拉曼技术对介质的拉曼响应提供了更详细的控制。所以在实际搭建相干拉曼系统时,会有诸多问题。当首次构建CARS或SRS显微镜时,很难确定PMT或锁相放大器探测器上观察到的信号的来源。然而,可以使用一个简短的检查表来验证信号的身份。通常情况下,应使用强谐振样品(例如,两个盖卡片之间的 ...
太赫兹拉曼系统(低波数拉曼)太赫兹光谱技术是一种“吸收”技术,可直接发射300GHz到6THz频率范围(10cm-1到200cm-1区域)辐射来测量这些结构,检测吸收光谱。太赫兹系统还有一个额外的好处,能够更深入渗透一种材料或“透视”外部层来捕捉信号。但这些系统依赖于昂贵的激光光源,而探测器性能、可用性和费用的限制限制了使用这种技术的潜在灵敏度、分辨率和经济性。此外,它们相当窄的光谱范围(只有3-6THz)限制了其对许多材料进行完整可靠的化学鉴定的能力。“太赫兹拉曼”将拉曼光谱从指纹区域扩展到太赫兹区域,如下图1,为化学组成数据增加对分子和分子间结构的重要见解。低频拉曼/太赫兹光谱可大大提高对 ...
替换自制微型拉曼系统中的532nm激光束。虽然分束器等光学元件将物镜入瞳处的光功率降低至< 2 mW,使用Skylark 349NX,他们仍然获取了4H-SiC和6H-SiC的清晰拉曼光谱,包括二阶拉曼谱带,如图1所示。图1 使用349NX激光器获得的4H-SiC和6H-SiC的拉曼光谱因为实验使用的二向色镜对拉曼光谱测量来说并不是zui适宜的,所以低于~520 cm-1的光谱线被削减。然而,通过使用适应于349nm的光学系统,利用349NX所进行的微型拉曼测量是完全可行的。这需要一个调整后的光学装置来适配349nm波长。使用配备GaAs光电倍增管和光栅的双单色仪重复4H-SiC和6H- ...
等领域。隔离拉曼系统由受激激光器、发射和收集路径、光谱仪、ICCD(强化电荷耦合装置)和控制系统组成。激光照射爆炸材料,受激拉曼散射光通过采集光路进入探测器,在激光、光谱仪、探测器等的控制下成像、采集光谱信息。在普通方式下,发射光路和收集光路是同一条,从而减少了能量的损失。激发波长和目标表面接收到的光能影响拉曼光谱的质量。拉曼散射强度与入射光波长的四次方成反比,荧光等杂散光的影响,在不同的激发波长下获得不同质量的拉曼光谱。在隔离拉曼系统中应用的激光源通常是紫外、可见光和近红外。在532nm激发下,样品本身或背景的荧光可能会干扰拉曼信号,而在355nm和266nm激发下,干扰减弱,且266nm的 ...
限制了大多数拉曼系统使用传统拉曼技术捕获<200 cm-1的低波数拉曼信号。因此,低频拉曼需要在波长阻断和辨别效率上有一个量子飞跃,即滤波器具有更尖锐的截止特性和更窄的带宽。一种基于感光玻璃的新型体全息光学光栅解决了这一问题。这些滤光片用于清除激光输出的谱展,然后有效地对信号进行滤波以消除瑞利散射激光。因此,基于这些光学器件的仪器现在可以在频谱的5 - 200 cm-1区域提供出色的信号噪声。了解更多关于拉曼系列详情,请访问上海昊量光电的官方网页:https://www.auniontech.com/three-level-59.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊 ...
不同波长光源在拉曼应用中的特点不同于瑞利散射,拉曼散射的信号非常微弱,在样品材料上出现的概率通常在百万分之一数量级。另外,拉曼散射强度和照明波长的四次方成反比,所以随着波长变长,拉曼信号迅速减弱。其次,探测灵敏度也和波长范围有关。无制冷硅基CCD器件的量子效率在800 nm后急剧下降。长波长可使用铟镓砷(InGaAs)阵列器件,不过噪声更大,灵敏度更低,大约仅为硅探测器的十分之一,成本也更高。空间分辨率也是考虑因素,因为成像分辨率受照明波长影响,衍射极限光斑约等于0.3λ。图1.硅与铟镓砷基底CCD探测器灵敏度曲线由于上述原因,拉曼应用选用的激光波长范围通常在近红外及其以下。拉曼信号强度、探测 ...
常重要,整个拉曼系统理想地适合在一个小的区域内,并具有足够的信号处理能力来分析光谱。拉曼光谱和自荧光测量是研究临床和生化样品的重要方法。自荧光强度和拉曼强度/效率以及由此产生的光谱特性可能取决于许多因素,包括材料的化学组成、材料环境,还可能取决于材料的压力和温度。具有“单频”源的近红外光谱仪,通过光纤传输,由光谱仪的分析部分提供的信号携带“信息”。源、探测器和样品承载着“信息”。源(振幅、波长和噪声)和探测器名义上是恒定的,假设样本携带随时间变化的“信息”。源和探测器的“已知”统计变化提供了一个很好的假设。在分析近红外(NIR)拉曼波时,了解信号中的“噪声”是如何映射到被测信号的是很重要的。光 ...
的单点共聚焦拉曼系统快10倍以上。然而,这些之前的工作都是基于一维检测技术,例如,沿CCD相机的垂直像素(沿光谱仪的入口狭缝方向)分辨无串扰的拉曼光谱。多通道CCD探测器的垂直尺寸限制了可以同时检测的光谱数量,这最终将限制并行拉曼采集的进一步改进。您可以通过我们的官方网站了解更多拉曼光谱仪、荧光寿命、光电流的相关产品信息。https://www.auniontech.com/three-level-59.html更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商,产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等,涉及应用涵盖了材料加工 ...
形状。以成像拉曼系统为例,光谱成像是通过显微镜和自动机械平台对一定区域内的样品进行逐点测量来实现的。最后通过数据处理建立光谱图像。每个测点的信号对应离散的拉曼光谱,这使得我们也可以通过检查指定测点的光谱来科学地评估关键技术性能指标。因此,拉曼光谱仪的关键技术指标往往是能反映所获得的拉曼信号质量的指标,尤其是对微弱信号的处理能力。因此,国家标准的研究重点是光谱分辨率、位移精度、位移重复性、强度重复性和信噪比等关键技术指标的确定和测试方法。考虑到拉曼光谱仪各部件的性能要求是厂商根据其技术水平、产品定位和设计确定的,采购前都经过检验,因此本标准侧重于拉曼光谱仪的整体性能,而不是对各部件性能的评估。1 ...
基于共焦显微拉曼系统的低频偏振拉曼测量系统。由于二维材料样品非常小和薄,需要结合显微镜系统将激光束聚焦在样品上,并使用后向散射几何,即使用相同的物镜将激光束聚焦在样品上并收集散射光。第一个陷波滤波器既用作分束器,也用作陷波滤波器:它的调谐方式是,在特定的角度下,只有激光波长反射到物镜,而除激光以外的所有波长都被传输。光谱仪入口狭缝前的缺口滤光片进一步去除瑞利散射光。当不需要低频范围时,可以用一个简单的分束器代替第一个陷波滤波器,并可以在入口缝前使用截止频率为100波数的常规陷波滤波器。图一为了控制入射光的偏振状态,在物镜前放置一个波片。如果使用半波片,线极化方向可以相对于样品旋转。如果使用四分 ...
。这种类型的拉曼系统已经被许多不同的研究小组证明可以有效地测量血液分析物的浓度。图4另一种强大的拉曼多分量分析方法是使用液芯光纤(LCOF)。该方法通过将样本注入LCOF而不是传统的样本容器,能够显著提高采集光谱的信噪比(SNR),从而使采集体积显著增大。典型的LCOF拉曼设置如上图4所示。当使用LCOF技术时,根据比尔-朗伯定律考虑收集的光谱的衰减和吸收是很重要的。这是通过记录白光参考光谱来实现的,从这个参考光谱可以计算LCOF中依赖波长的光损失系数。LCOF拉曼系统的可行性和优越性已经被相关技术人员证实,它可以在几秒钟内获得高质量的预测结果。与所有其他系统设计相比,LCOF拉曼系统是最适合 ...
拉曼光谱方案拉曼系统常常利用滤光片将激光束反射到显微物镜中,阻断瑞利散射,并将拉曼信号传输到光谱仪中,长通滤光片是测量斯托克斯分量的常用滤光片。但是随着入射角度的增大,边缘截止波长会出现蓝移,且随着入射角的增加,s和p偏振的边缘移动量不一致,使得他们不适合于共振拉曼谱测量。如下图1a所示,入射角增大到30°时边缘蓝移约20 nm,且s偏振和p偏振表现出了7 nm的分裂,说明不适用于可调谐激发。图1b所示的TLP滤光片可在0-60°范围内偏转并不降低边缘陡度,且在全量程范围内提供OD>6的光密度和90%以上的传输,可调谐波长可覆盖400-1100 nm,很适合于可调谐激光光源拉曼测试。图1 ...
32nm),拉曼系统还配备一个激光扫描系统,其空间分辨率为20nm。物镜(Olympus, MPLFLN 40X, NA=0.75)被用于聚焦激光,点的尺寸大约为1um。每个光谱的曝光时间为500ms,入射激光功率为2mW。拉曼光谱已经被广泛用于研究二维材料的振动特性并且定量确定他们的厚度。图1显示了通过CVD的方法在SiO2衬底上合成了单层单畴四方三形状的MoS2薄膜一个区域的拉曼光谱成像。此三方MoS2薄膜的尺寸为~30um。MoS2薄膜的拉曼光谱通过两个主峰进行表征。一个被指认为E_2g^1模式(对应于在x-y层面Mo和S原子的振动模式),一个被指认为A_1g模式(对应于单胞中z轴方向两 ...
本相对较低的拉曼系统包括一个重复频率为6.4 kHz、脉宽为900 ps的脉冲二极管激光器和一个用于时间分辨光子计数的光电倍增管。该系统表明,在浓度为10-4M的罗丹明6G掺杂纯苯样品中,使用短门宽(0.7 ns)的时间分辨光子计数比使用长门宽(25 ns)的时间分辨光子计数的信噪比提高了约15倍。您可以通过我们的官方网站了解更多拉曼光谱仪的相关产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。 ...
面板显示了在拉曼系统中如何使用BPF的示例。标准BPF的偏转角在20°左右。可以制作偏转角高达90°的滤光片,但这种滤光片的角度接受度将会变窄,这通常是不可取的,因为有更严格的对准要求。图4基于VBG的净化滤波器最基本的优点是较窄的线宽与BNFs的线宽相匹配。因此,在与被研究样品相互作用后抑制激光线的陷波滤波器相同的线宽下,BPF可以清洁激光线并将光谱噪声降低到-70 dB以下。图4的右边面板显示在785 nm波长处的激光二极管的原始光谱(红线)和使用BPF带通滤波器清洗后的激光光谱(绿线)。您可以通过我们的官方网站了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。 ...
便携式高精度拉曼系统完成的。您可以通过我们的官方网站了解更多的产品信息,或直接来电咨询4006-888-532。 ...
性,采用显微拉曼系统(Xper Ram200)测试了它们的拉曼光谱。图中分别为原始石墨烯和掺杂不同浓度Mn3O4颗粒的石墨烯的拉曼光谱图,展示了具有D,G和2D峰特征的原始石墨烯和掺杂石墨烯的拉曼光谱的演变。D峰(ω~1350cm-1)是石墨烯的无序振动峰,只有当缺陷存在时才能被激活。G峰(ω~1580cm-1)是sp2碳原子面内振动引起的,通常与应力有关,因此可用来反映石墨烯层数。2D峰是双声子共振二阶拉曼峰,用来反映多层石墨烯的堆垛方式。二硫化钼MoS2如上图是首尔国立大学Takhee Lee的研究工作,用拉曼光谱仪(Xper Ram200)测试了MoS2的拉曼谱图。E12g是MoS2的面 ...
像系统低波束拉曼系统空间光接口&光纤接口适于客户现有激光器接入200µm x 200µm 图像快速扫描 & 2D Mapping!高性价比!XperRam S共聚焦拉曼成像系统韩国NANOBASE公司专业生产高性价比共聚焦激光拉曼成像系统,为科学和工业领域提供高性价比解决方案。 韩国NANOBASE公司 XperRam S共聚焦激光拉曼光谱成像系统功能强大,选项完备,操作简单,便于维护。XperRam200共聚焦拉曼成像光谱仪系统使用户可以提供各种可扩展功能,并可为客户提供量身定制的可定制化的服务。主要功能:显微拉曼,拉曼成像偏振拉曼低波束拉曼原位测试可拓展为EL/PL/光电流 ...
超高速显微拉曼成像光谱仪RIMA激光拉曼显微成像系统是高精度、面成像激光拉曼技术,具有速度快,功率密度低等特点!由Photon公司开发的整视场高光谱拉曼成像仪(RIMA™)可对大面积(1 mm x 1 mm及更大)的材料进行快速光谱和空间表征。 该设备与高分辨率的高光谱结合,采用面成像技术,将激光扩束后,用特殊的光学元件将扩束后的高斯分布的激光整形成均匀分布的平顶激光,照射在样品上,滤除反射的激光后,所有激发的拉曼光和再通过可调滤波器为主的高光谱成像组件,成像在ccd上,可在几分钟内完成,以像元为单位,可以形成高达十万组拉曼光谱数据。是目前市面上相对快的拉曼成像设备. RIMA™捕获整个视场的 ...
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