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倾斜、轴向和径向误差运动倾斜、轴向和径向误差运动测量设置:当载物台旋转时,它不会围绕垂直 Z 轴完运动,在其他 5 个自由度中存在额外的误差运动:• 垂直方向运动:轴向误差运动• 在垂直于旋转轴的平面上的运动:径向误差运动。总是有 2 个线性分量 X 和 Y• 轴围绕 X 轴和 Y 轴的倾斜。倾斜是通过用已知 Z 轴方向间距的分开的 2 个探头进行测量得到的测量量。根据两个探头之间的差异,我们计算倾斜角。总径向误差是径向平移和轴倾斜的组合。我们测量转子表面正上方的径向误差。平台上越高的位置,径向误差越大,因为“倾斜”的贡献不断增加。两个轴承之间的总径向误差最小,但该位置实际不可接近。下图是通过 ...
来表征,即:径向误差运动 (x(θ), y(θ)):定义为在任意轴向位置“a”处测量的垂直于旋转轴的误差运动。必须始终指定轴向位置,因为转子的倾斜会影响径向误差运动。轴向误差运动 (z(θ)):定义为与旋转轴共线的误差运动。倾斜误差运动 (α(θ), β(θ)):定义为转子绕 x 轴和 y 轴的旋转。该误差运动可以从在不同轴向位置“a”处进行的两个径向误差运动测量得出.同步与异步误差运动(Synchronous versus asynchronous error motion)旋转平台的总误差运动由同步和异步部分组成:同步误差运动是总误差运动从一圈到另一圈重复的部分。它可以通过计算每个测量的主 ...
也可以主动将径向误差运动补偿,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。Fig3. 运动误差测量Fig4.AU-XRT-A旋转台主要特点l 高精度(200μ°)l 高速度(1080°/s)l 可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用主要应用l 微型CT扫描仪l X射线衍射系统l 电子显微镜l 同步加速器l 计量学产品参数:AU-XRT-U30AU-XRT-U40AU-XRT-ADrive principle:ultrasonic piezo motorstick-slipRadial error ...
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