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的误差运动。倾斜误差运动 (α(θ), β(θ)):定义为转子绕 x 轴和 y 轴的旋转。该误差运动可以从在不同轴向位置“a”处进行的两个径向误差运动测量得出.同步与异步误差运动(Synchronous versus asynchronous error motion)旋转平台的总误差运动由同步和异步部分组成:同步误差运动是总误差运动从一圈到另一圈重复的部分。它可以通过计算每个测量的主轴角度 θ 在几圈内的平均误差来获得。在数学术语中,这被定义为由基频的整数倍组成的误差运动。总误差运动的其它部分是异步误差运动。它由基频的非整数倍组成。换句话说,总误差运动中从一圈到另一圈不重复的部分。它反映了测 ...
位移台的倾斜、轴向和径向误差运动倾斜、轴向和径向误差运动测量设置:当载物台旋转时,它不会围绕垂直 Z 轴完运动,在其他 5 个自由度中存在额外的误差运动:• 垂直方向运动:轴向误差运动• 在垂直于旋转轴的平面上的运动:径向误差运动。总是有 2 个线性分量 X 和 Y• 轴围绕 X 轴和 Y 轴的倾斜。倾斜是通过用已知 Z 轴方向间距的分开的 2 个探头进行测量得到的测量量。根据两个探头之间的差异,我们计算倾斜角。总径向误差是径向平移和轴倾斜的组合。我们测量转子表面正上方的径向误差。平台上越高的位置,径向误差越大,因为“倾斜”的贡献不断增加。两个轴承之间的总径向误差最小,但该位置实际不可接近。下 ...
xy平面),倾斜误差(φ/θ),共轭误差(Z轴位置,已调好)。- X/Y对齐调节光强,使WFS不饱和。关掉光源。测量背景光(img = wfs.GetImage('nAverage', 50;wfs.detector.SetBias(img); )打开光源调节DM或者WFS的位置,使光入射到WFS的中心。- 倾斜误差校正拧上准直小孔盖子,使光从小孔入射到WFS上。点击Align,调制倾斜,使质心与中间位置重合。移除盖子。微调倾斜,使泽尼克倾斜项尽可能的小;可以在WFS History里可以看。使倾斜和离焦小于50nm Rms。您可以通过我们的官方网站了解更多的产品信息,或直接来 ...
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