SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
供快速可靠的薄膜测量。通过1秒的测量可以精确的测量0-5000nm的大多数透明薄膜的厚度。并可以获得n和k等光学常量。相比于单波长椭偏仪,多波长椭偏仪可测定薄膜厚度,对于透明薄膜测量厚度至少可达5μm,不存在厚度周期性问题;可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等;对数据分析提供检测依据,一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据;对于薄的薄膜(<10nm)多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。应用案例:原位测量: AUTFS-1 Mounted on Kurt Lesker ALD Chamber ...
或 投递简历至: hr@auniontech.com