采用消光式椭偏仪精确测量波片的相位延迟量。本文重点讨论了标准1／4波片及待测波片的相位延迟量误差对测量精度的影响。
椭偏仪与偏振相位（七）- 波片相位延迟量测量误差分析
影响波片相位延迟量测量准确度的因素主要有：标准1／4波片的偏差及待测波片快轴与入射面夹角θ的误差等，下面从公式(4)出发，讨论两者误差对波片测量延迟量的影响：
（一）当标准1／4波片和待测1／4波片的相位延迟量都是理想的90°时，得到δ与θ的关系如图1所示，θ的变化范围是-4°至＋4°。可见，当标准1／4波片和待测1／4波片在理想情况下，待测1／4波片的方位角θ不影响其相位延迟量测量。
图1当标准1／4波片理想时待测波片δ与其方位的角θ的关系
(二）实际上，由于波片受温度，及制作工艺的影响，其相位延迟量不可能是理想的90°。若待测1／4波片的相位延迟量为88.8°，标准1／4波片相位延迟量在87°至93°内变化时，待测1／4波片相位延迟量与其方位角θ的关系如图2所示，经过数值计算，标准片相位延迟量在90°至93°变化时和87°至90°变化时是完全类似的，图2中仅给出标准片在87°至90°的变化情况，其中“*”号为实测的实验数据。
图2 标准1／4波片有偏差时待测波片δ与其方位角θ关系
分析图2曲线可知：
(1) 标准波片相位延迟量从87°到90°时，该曲线逐步向理想情况下的曲线靠近，当标准波片相位延迟量为87°时，理论曲线与实验测量数据吻合很好。若θ精度为0．1°，这时δ的zui大偏差为0．00006°，相对偏差为0．000068％；
(2) 若标准波片相位延迟量为90°时，待测波片安放方位角θ对测量波片相位延迟量影响很小；
(3) 若角度θ=0°，即待测波片没有安放方位角误差时，理论值与实验值完全重合。实验中只要能保证θ=0°，测量波片相位延迟量与标准波片实际相位延迟量无关。所以，利用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量的准确度主要与标准波片相位延迟量的准确度及待测波片的方位角误差有关，测量波片相位延迟量的重复性精度由椭偏仪决定。
(三）同样，对待测波片相位延迟量为180°或其他角度时也得到类似的结论。图3中data1为标准1／4波片和待测1／2波片均为理想情况下的δ和θ的关系。data2为标准1／4波片和待测1／2波片均为非理想情况下的δ和θ的关系，由图3可知，非标准情况下理论曲线和实验曲线吻合得比较好，图中“*”为实验测量点。
图3 待测二分之一波片δ与θ的关系
(四)光线非垂直入射波片时，也会引进附加的相位延迟量测量偏差。这可通过仔细调整待测波片的状态使光线尽量垂直入射。另外，消光式椭偏仪的系统误差及随机误差也会影响相位延迟量的测量精确度。
了解更多详情，请访问上海昊量光电的官方网页：
https://www.auniontech.com/three-level-56.html
相关文献：
1王勇辉,郑春龙,赵振堂.基于斯托克斯椭偏测量系统的多点定标法[J].中国激光,2012,39(11):163-167.
2侯俊峰,于佳,王东光,邓元勇,张志勇,孙英姿.自校准法测量波片相位延迟[J].中国激光,2012,39(4):173-179.
3王喜宝,宋连科,朱化凤,郝殿中,蔡君古.连续偏光干涉法测量波片宽波段延迟量变化[J].激光技术,2012,36(2):258-261.
4赵振堂,林天夏,黄佐华,何振江.利用消光式椭偏仪精确测量波片相位延迟量[J].激光杂志,2012,33(3):8-9.
5程一斌,侯俊峰,王东光.组合波片的椭圆率角测量方法[J].北京理工大学学报,2019,39(7):750-755.
6于德洪,李国华,苏美开,宋连科.任意波长云母波片位相延迟的测量[J].光电子．激光,1990,1(5):267-269.
7徐文东,李锡善.波片相位延迟量精密测量新方法[J].光学学报,1994,14(10):1096-1101.
8薛庆文,李国华.半阴法测量λ/4波片的相位延迟[J].光电子．激光,1998,9(2):150-151.
9AzzamR.M.A.,Bashara,N.M.ellipsometryandPolarizedLight[M].NewYork:North-Holland,1977,198-201.
10孙英姿,王东光,张志勇,邓元勇,张洪起,玄伟佳.波片相位延迟的光强测量法研究[J].天文研究与技术,2008,5(1):74-82.
更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电
关于昊量光电：
上海昊量光电设备有限公司是光电产品专业代理商，产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、光学元件等，涉及应用涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防、量子光学、生物显微、物联传感、激光制造等；可为客户提供完整的设备安装，培训，硬件开发，软件开发，系统集成等服务。
您可以通过我们昊量光电的官方网站www.auniontech.com了解更多的产品信息，或直接来电咨询4006-888-532。
展示全部 
