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激光干涉仪

点衍射激光干涉仪-大口径(≥700mm)高精度(≤0.6nm RMS)无出口限制λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪Xper WLI 白光干涉仪高分辨率激光干涉仪马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪皮米级绝对距离测量干涉仪(独家)皮米精度位移激光干涉仪 显示全部
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皮米精度位移激光干涉仪

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皮米精度位移激光干涉仪(可试用)



       



        昊量光电推出的皮米精度位移干涉测量仪quDIS是对纳米级别的位移波动进行量测的理想仪器,基于其独特的测量原理,相对距离的重复精度达到了前所未有的50皮米。quDIS可同时支持三个测量通道,使其可以适用于任意的多轴测量中。quDIS在原理上同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量基于这种测量方式,使得quDIS相对其他产品测量距离可以达到20M的同时保持高精度,且与信号对比度和强度无关,由于使用整个干涉模式来提取位移信息,因此不存在非线性误差此外,quDIS不仅可以获得位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中提取得到





                        独特的法珀腔+饱和吸收气室构造                               波长的线性变化的引入在此构造下使得绝对距离的测量成为可能!







干涉传感头

       激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的,根据反射目标的不同,不同的应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。quDIS的传感器头均基于光纤设计。quDIS为常规情况下的使用提供标准准直仪和定焦传感头,同时根据具体的需要以及恶劣环境下的应用,也设计了响应的特殊传感头。










   

                       用于测量高温漂移物体的传感器头的设计                                         镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头


环境测试模块(AMU)

      环境测试模块(AMU)设计用于补偿由温度T、压力p和相对湿度rH波动引起的折射率变化,总体精度为1ppm。

产品特点:

  •  多维度多通道位移干涉器,操作简单,即插即用

  •  相对距离和绝对距离测量

  •  完善的全套系统配置

  •  实时输出数字化图像

  •  针对不同应用提供各种传感接头及反射模块组合解决方案

  •  长期使用保证稳定性

  •  兼容真空与各种恶劣环境





独特优势:

  •  绝对距离高精度测量!

  •  不存在非线性及周期性误差!

  •  相对距离信号稳定性<0.05nm!

  •  工作距离最大20m(与传感头相关)

  •  目标最大速度1m/s

  •  三个传感接口,可实现多设备同步

  •  探测器分辨率达到1pm





应用领域:

  •   极限环境下振动分析

  •   缓慢漂移及热膨胀检测

  •   精密设备位置控制

  •   纳米级位移测量

  •   层状结构中间隙和边缘的测量

  •   位移和振动精度评估






皮米精度位置测量仪参数列表:


干涉仪传感
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW相对距离稳定性< 0.05nm
波长1535nm绝对距离精度<0.2nm/mm
线宽<5MHz带宽25kHz
传感器通道3工作距离0.1—20m
光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度<1m/s
Mating Sleeves传感头真空
同步多台设备同步低温


















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