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探针台

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基础测试探针台

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产品简介

基础测试探针台具有较高的性价比。较低的泄漏电流~50fA使得其易于测试6英寸的圆晶和破损的样品。同时具有较强的拓展性,客户可以根据自己的需求选用加热吸盘,高倍显微镜,底座和屏蔽箱等。


产品优势

精度高 

测试稳定 

操作方便

多种测试技术 

低泄漏电流


技术规格

样品台


尺寸

6英寸,低泄漏电流 <50fA

X-Y行程

100mm×100mm

X-Y行程精度

5μm

Z行程

10 mm

Z行程精度

1μm

显微镜行程

x-y 50mm×50mm 精度5μm



显微镜

显微镜

放大倍数90倍   样品台<100μm

ccd 相机

放大倍数300倍   样品台<50μm

高倍显微镜

放大倍数1000倍  样品台<10μm



CCD相机

2.1M像素 CCD C-mount 1/3 英寸

15 英寸LCD显示器


针座平台

行程6mm 精度3μm

真空平台 行程6mm 精度3μm


探针

M5BG

M1.5BT

尺寸:0.5×25mm

尺寸:0.5×30mm

漏电精度   :<10fA

针尖直径:5μm

针尖直径:5μm



应用

IV测试


CV测试    可靠性测试