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压电精密定位系统

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压电马达线性平移台

纳米级精度高速大行程压电马达线性平移台!

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技术服务人员:李工(William)

电话:156 1809 2363

邮箱:wentao-li@auniontech.com


纳米级高速大行程压电马达平移台


AU-XLS系列压电马达线性平移台拥有独特的特点。该平移台是一款兼具大行程和高精度的压电马达位移平台。

该平移台采用无声的超声波马达,超声波马达是通过一个耦合元件抵住移动导向转子,在高频电流下压电陶瓷促动器被激发产生超声波振动,促动器的变形使耦合元件相对于转子产生周期性的对角运动,每个循环的进给为几个纳米,高频的信号,可以使转子高速的运动。因此AU-XLS系列压电马达平移台的最大速度可达到100mm/s

理论上压电马达平移台的行程仅取决于转子的长度,因此AU-XLS系列位移平台可提供的行程范围可达94mm,采用线性编码器位置传感器闭环控制,使位移平台的位移分辨率可达到78nm,在满足大行程的同时实现了高的精度。由于压电陶瓷已经加载了预加力,因此断电之后平移台会有自锁功能,使位移平台依然保持在原位。这样可以减少了能源的消耗和产热量,提高了位移平台的精度。

此外,由于该平台采用模块化设计,因此该平移台可以组成多维位移平台,并且可以提供真空兼容和非磁位移平台。

 

主要特点:

l  大行程 (92mm)

l  高精度(78nm)

l  高速度(100mm/s

l  支持断电自锁

l  可在真空和非磁环境

主要应用:

l  光电子学

l  扫描电子显微镜

l  半导体生产

l  医学和材料科学

l  生命科学与生物技术学

l  显微镜和计量学

 

产品参数:


AU-XLS

Minimum travel range

19 mm

Maximum travel range:

92 mm

Load capacity

< 1kg

Holding / driving force

~ 1N

Min. step size

500nm [standard encoder] / 78nm [precision   encoder]

Max. speed

400mm/s

Min. speed

1mm/s

Constant speed

+/- 1% at typical scan speed

Lifespan

> 100 km (typical)



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