膜厚测量仪（测量厚度1nm~1.8mm）

膜厚测量仪-

MProbe - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美国Semisonsoft公司MProbe系列薄膜测厚仪测量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃级分辨率，非接触式无损快速测量。广泛应用在各种生产或研究中，比如测量薄膜太阳能电池的CIGS层，触摸屏中的ITO层等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且稳定的被测量。

测量原理：当指定波长范围的光照射到薄膜上时，从不同界面上反射的光相位不同，从而引起干涉导致强度相长或相消。而这种强度的振荡是与薄膜的结构相关的。通过对这种振荡拟合和傅里叶变换就可获得样品厚度和相关的光学常数。

比如：

半导体（硅，单晶硅，多晶硅）

半导体化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微电子机械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻胶

硬涂层（碳化硅，类金刚石炭）

聚合物涂层（聚对二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

MProbe膜厚测量仪操作简单，只需一键操作即可获得样品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚测量设备可支持不同光谱范围，光谱范围可达200-1700nm，因此可测量厚度范围可从1nm到2mm。 设备中无移动组件，所以测量结果几乎是即时得到的；TFCompanion测量软件使得测量过程非常简单且透明，测量历史、动态测量、模拟、颜色分析、直接在样品图像上显示结果。

主要可分为以下几种产品：

1、单点膜厚测量设备：

1）AU-MPROBE-20是一款台式单点膜厚测量设备，该设备操作简单，只需一键就可获得样品的厚度和折射率，并且可提供不同波段范围的产品。该膜厚测量仪拥有以下几种型号，客户可根据自己所需的波长范围和薄膜厚度进行选择。

可供选择型号：

2）AU-MPROBE HC是基于MPROBE-20平台开发专用于测量曲面和大型零件上的涂层，并且用手动探针代替样品台。

设备主要参数：

2、聚焦光斑膜厚测量仪

AUMPROBE 40是一款聚焦的小光斑膜厚测量系统，该产品将显微系统和膜厚测量设备结合起来，用于对膜厚的微区测量，光斑可达2μm。该设备集成相机和软件，可精确显示待测位置，并同时显示测量结果。

该设备有不同波长范围可选，可供选择的产品型号如下：

3、原位测量膜厚测量仪：

AUMPROBE 50 INSITU是一款支持原位测量膜厚测量仪，该设备采用门控数据采集方式因此可以在高环境光的条件下工作。此外该型号膜厚测量仪支持定制以满足不同形状的真空腔。根据可用的光学窗口，支持斜入射和垂直入射。光线可以聚焦样品表面或准直,探测探头可以放置在沉积室光学端口内部或外部，由于该膜厚测量仪没有移动部件，通常测量时间约10ms。

此外该型号还有多种波段范围可选，可供选择型号如下

4、支持Mapping的聚焦膜厚测量仪

AUMPROBE 60是一款聚焦并可做mapping的膜厚测量设备，重复精度可达0.01nm，精度可达1nm，mapping面积可达300*300mm。并支持多种波长范围可选。

可选波长型号：

5、在线膜厚测量仪

AUMProbe 70是一款高性能膜厚测量仪，主要设计用于24/7生产线上的连续测量。该设备主要有两种配置一个是在产线上配备多个固定的探头，第二种是将探头装在扫描仪上扫描。