光束分析仪 DMD SCMOS相机 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 高光谱
超小型平移台（亚微米，15mm，已集成电路）
亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）
纳米平移台（压电马达型，10-1500mm行程）
MEMS扫描镜
大角度闭环微型振镜
高精度微型六维位移台
