椭偏仪

椭偏仪是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。 主要是利用线偏振光经样品反射后转变为椭圆偏振光来获得薄膜样品的一些基本参数。该椭偏仪由包含四种不同波长的光源，不存在厚度周期性问题，可适用于透明膜、半透明膜及金属膜等。透明膜可提供厚度可达1μm，1秒的采谱时间，测量精度可达0.001nm。此外该设备可用于原位测量与ALD等设备联用。