首页  产品信息 光学检测设备 激光干涉仪 纳米表面轮廓仪

激光干涉仪

λ/1000超高精度激光干涉仪!纳米表面轮廓仪Xper WLI 白光干涉仪高精度位移测量仪-激光干涉仪高分辨率激光干涉仪皮米精度位移测量仪 显示全部
dow.png

纳米表面轮廓仪

  • 纳米表面轮廓仪
  • 纳米表面轮廓仪
  • 微信好友

  • QQ好友

  • QQ空间

  • 新浪微博

非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征的高性价比工具

所属类别:光学检测设备 » 激光干涉仪

所属品牌:

产品负责人:

姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863(微信同号)

邮箱:zonghao-gu@auniontech.com


  • 产品详情
  • 数据单及文献下载
  • 猜你喜欢
  • 相关产品
  • 询问表格
  • 联系方式

    产品负责人

    姓名:谷工(Givin)

    电话:185 1625 1863(微信同号)

    邮箱: zonghao-gu@auniontech.com

    微信二维码

纳米表面轮廓仪

IMOS纳米表面轮廓仪实现了精确、定量、iso兼容、非接触式表面测量和表征微和纳米尺度的表面特征,在短短几秒钟内可捕获多达200万个数据点。选择正确的光学轮廓仪系统取决于您的应用程序的要求,包括速度、精度、垂直范围、自动化和灵活性。

IMOS光学表面轮廓仪在非接触式光学表面轮廓方面提供了强大的通用性。有了该系统,它可以方便快捷地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯。所有的测量都是无损的,快速的,不需要特殊的样品准备。纳米表面轮廓仪系统的核心是部分相干光干涉技术,它提供亚纳米精度测量更广泛的表面比其他商业可用技术。


IMOS 纳米表面轮廓仪提供了不同的应用程序的特殊价值,如平直,粗糙度,波浪形,台阶高度等等。
IMOS 纳米表面轮廓仪配备了一个变焦头,可以填充离散变焦光学定制的系统。样本分段配置范围从完全自动化到完全自动化的编码行程。

IMOS 纳米表面轮廓仪提供高精度测量,易于使用,快速测量,及极具吸引力的价格,使其成为多功能3D光学轮廓仪的理想选择。


主要优点:

  • 纳米模式下的Z轴分辨率:

           ~ 30pm微起伏模式(使用原子级光滑镜)

             ~ 0.3um微地貌模式下

  • 外形紧凑;

  • 快速响应;

  • 抗外部振动;

  • 测量过程自动化程度高;

  • 特殊的用户友好的界面;

  • 高质量的图形界面,以工作与多计划三维表示的测量结果;

  • 广泛的可能性配置的显微镜,以各种形态-逻辑的测量表面;

  • 能够工作在两种模式:微浮雕和纳米浮雕;

  • 独特的存储系统和测量结果的系统化。


在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm在硅基板上的Pd薄膜,高度100nm

微起伏模式下的测量结果

IMOS纳米表面轮廓仪组成 

                    光电探测器*
矩形ccd-1392*1040 px
光源 * 
LED (λeff = 630 nm)
显微物镜*
20x (or 10x, 5x) 2 items
放大率不变
                                     压电扫描振镜

位移台


  • 1d (Z) range 50 mm 

  • 2d (XY) range 75x50 mm


控制器
  • CCD-相机抓帧器

  • 位移台控制器

  • 设备控制器 

硅晶体表面的阶地,高度为0.314nm   
                                       计算机 
软件
  • Software for working with IMOS

  • System / MS Windows

 
认证口径,标称高度值为101nm±3%
* – 按客户需求 


微地貌模式下的测量结果

技术指标

                             测量区域 
0,4x0,3 mm2 (for 20X
像素尺寸 
0,3 μm (for 20X
横向分辨率
Not worse 1 μm 
测量模式 
  • 微地貌模式

  • 微起伏模式 

认证口径, 厚 40 ± 1,2 μm   
                            Z轴分辨率
  • 微地貌模式 ~ 0,3 μm

  • 微起伏模式 ~ 30 pm (with atomically smoth mirror) 

测量范围 
  • 微地貌模式 up to 50 mm

  • 微起伏模式 up to 20 μm 

测量速度 
  • 微地貌模式 ~ 4 μm/s

  • 微起伏模式 ~ 20 μm/10s 

衍射元件, 厚 3,7 μm   




数据单下载

展示全部 dow.png

询问表格

* 号为必填内容
  • *
  • *
  • *
  • *
  • 百度
    360搜索
    必应
    谷歌

产品标签:纳米光学轮廓仪,光学轮廓测量仪,3D表面轮廓仪,表面轮廓仪,光学3D表面轮廓仪,表面轮廓测量仪,微纳表面轮廓仪,光学轮廓仪,纳米级轮廓仪,