偏振光波通过介质时与介质发生相互作用,这种相互作用将改变光波的偏振态,测出这种偏振态的变化,进而进行分析拟合,得出我们想要的信息。
椭偏仪（六）-椭偏仪数据处理模型-第二部分
继续介绍我们上次的建模：
4.Selmeier模型 非常适用于透明材料和吸收材料,如 Al2O3、SiO2、MgF2、SiN4、TiO2、ITO、KCl等,处于红外波段的Ge、Si,GaAs；材料在透明波段的光学常数具有较高的精确度。对于电子跃迁,当光波能量远高于带隙时,同时考虑电子和晶格的贡献：
这就是Selmeier色散公 式,实际应用中用波长代替能量作为参量：
5.EMA(有效介质)模型 有效介质模型应用于两种或两种以上的不同组份合成的混合介质体系,多达 5种不同材料组成的混合材料、多晶膜、金属膜、表面粗糙的膜、多孔膜、不同材料或合金的分界面、不完全起反应的混合材(TiSi、WSi)、无定形材料和玻璃；其基本思想是将混合介质当作一种在特定的光谱范围内具有单一有效介电常量张量的“有效介质”,是把均匀薄膜的微观结构与其宏观介电常数相联系.它包含3种有效介质模型：
5.1 lorentz-Lorenz有效介质模型 zui简单的异构介质是介电函数分别为εa和 εb的两种介质随机地混合在一起,其有效介电函数可以用如下式子估算：
式中fa,fb为介质的份额,fa+fb=1。
5.2 Maxwell-Garnett效介质模型 上一模型假设主介质为真空,即ε=1。更一般的情况是主介质的介电函数是εh,次要介质分散于主介质中,当εh=εa时,有效介质函数ε为
5.3 Bruggeman有效介质模型 如果不同成分混杂在一起,不能区分谁是主介质,这时采用Bruggeman有效介质模型：
fj为第ｊ种介质所占的体积份额,且∑fj =1。在拟合实验数据时,有时会出现fj<0或fj>1,这时显然有效介质近似是不合适的,或物质的组成模型与实际不符。有效介质模型通常用于薄膜的粗糙表面和过渡层的分析.
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