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膜厚测量仪

膜厚测量仪(测量厚度1nm~1.8mm)Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)激光干涉膜厚测量仪多波长椭偏仪/膜厚测量仪(仅需25万!) 显示全部
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Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)

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一款高精度单点膜厚测量系统!

所属类别:光学检测设备 » 膜厚测量仪

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姓名:魏工(David)

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Mprobe 20 薄膜测量系统 (单点测量)



MProbe 20是一款用于薄膜厚度测量的桌面系统,在世界范围内有成千上万的应用。它测量薄膜厚度和折射率只需鼠标点击。厚度从1nm 1mm,包括多层膜层,可以快速和可靠地测量。不同的MProbe 20模型主要由光谱仪的波长范围和分辨率来区分,这又决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。该测量技术基于光谱反射率,具有快速、可靠、无损等特点。


图1:Mprobe 20 产品实图


图2:Mprobe 20 不同配置与厚度范围


包括:

主单元(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
SH200A样品台,带对焦镜头,可微调
光导纤维反射探头
TFCompanion -RA软件、USB适配器(授权密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
根据型号和黑色吸收体的不同,校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜,视型号而定
USB或LAN线(用于连接主机和PC)
24VDC电源适配器(110/220V)


核心指标:
精度:<0.01nm或0.01%(在200nm的氧化物上测量100次)
精度:<1nm或0.2%(依赖于filmstack)
稳定性:< 0.02nm或0.2%(每天测量20天)
光斑大小:< 1毫米
样本尺寸:>= 10mm
参见下面小册子中MProbe 20薄膜厚度测量系统可用配置的详细规格


波长选配清单:

MProbe 20 

波长范围

规格

厚度范围

VIS

200nm -1100nm

F3 Ariel Spectrometer, 2048/4096 pix cmos,  16 bit ADC, 5W Tungsten-Halogen lamp

10nm – 75 μm

UVVISSR

700nm -1100nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp

1nm -75μm

VIS-HR

900nm-1700nm

F4 Spectrometer, 2048 pix (backthinned),16 bit ADC, 5W TH lamp 

1μm-400μm

NIR

200nm-800nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

50nm – 85μm

UVVisF

200nm -1700nm

F4 spectrometer, Si detector 2048 pixels ccd, 16 bit ADC, 10W Xe flash lamp

1nm – 5μm

UVVISNIR

1500nm-1550nm

F4 Spectrometer, 2048pix (backthinned),16 bit ADC 20W TH lamp, 30W Deuterium short-ark lamp. F4spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp

1nm -75μm

NIRHR

200nm -1100nm

F4 spectrometer, InGaAs detector 512 pix., 16 bit ADC, 5W TH lamp or SLDoption 

10μm-1800μm (glass)4μm-400μm (Si)


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产品标签:膜厚测量系统,膜厚,厚度测量,filmetrics,semiconsoft,mprobe,薄膜测量