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原位拉曼系统--实时监测半导体薄膜生长全过程在半导体工艺中,薄膜沉积是在半导体原材料硅晶圆上分阶段生长薄膜的核心工艺。它在半导体电路之间起到区分、连接和保护作用。由于其厚度非常薄,在晶圆上形成均匀地薄膜具有很高的难度。所以在化学沉积过程中,确认薄膜材料是否正常生长,以及能否产生所需的特定物性,就非常重要。为了确保薄膜沉积按照预期进行,通常将已长成的薄膜从真空化学气相沉积(CVD)腔室中取出,然后用分析仪器进行检查。它被称为“Ex-Situ”方法,是从外部而不是在腔室内部进行分析。但是,从真空室中取出的薄膜可能会与大气中的氧气或水分接触,从而改变物性,很难进行准确的分析。即使通过分析发现问题,也 ...
原位拉曼光谱法研究18650锂离子电池中气体逸出的电位依赖性使用原位拉曼光谱对超级电容器电池进行了逸出气体分析。在这种设置中,由于测量是通过散射光进行的,因此无需从电池中提取气体即可测量各种逸出气体的分压,使用专门设计的拉曼分析装置对18650圆柱形电池进行气体分析。,为了加速气体逸出,停留电位从 4.2 变为 4.8 V,直至2000小时。通过这种方法使用商用超级电容器成功地对逸出气体进行了原位拉曼分析。研究表明,新开发的气体分析装置无干扰且高度可靠。图1:用于原位拉曼测量的 LIB-拉曼电池示意图两个光学窗口,以及池体和 18650 池之间的软金属密封,将内部大气与环境隔离本研究所有气体测 ...
制注入进程。原位拉曼测试使用XperRam Compact拉曼光谱仪,激发光波长和能量分别为532nm和0.5mW。多层石墨烯的薄层阻抗在不同的注入偏压下通过另外一个Keithley 2400源表进行测量。由于离子液体注入到了石墨烯层因此红外发射率的调制很清楚。为了进一步表征表面多层石墨烯的注入过程进行了原位拉曼的测试。图1显示了在不同的偏压下的表面石墨烯的拉曼光谱。对于一个赞新的多层石墨烯,此处有三种拉曼模式:D(1321cm-1)、G(1580cm-1)和2D(2688cm-1),和之前所报道的一致。其中D峰表明了石墨烯中的缺陷所在,这可能是由于刻蚀和迁移过程所引起的。对于一个低于2V的注 ...
过程,进行了原位拉曼测试(图四a).图四b展示了在不同偏压下表面石墨烯的拉曼光谱.对于原始的多层石墨烯,存在三种拉曼模式:D(1321 cm-1),G(1580 cm-1)和2D(2688cm-1)模式.D峰表明石墨烯中的缺陷,这可能是由基底蚀刻和转移过程引起的.对于低于2V的插层偏压,拉曼光谱与原始样品相似.但是,当施加的电压高于3V时,G峰和D峰的强度显着增加,并且随着偏压增加至3 V,G峰从1580cm-1变为1603 cm-1.G峰强度的增加表明了离子插层的掺杂效果.同时G峰蓝移23cm-1意味着插层成功.D峰强度的增加表明在插层过程中石墨烯层中缺陷的增加.对于高于4 V的偏压,随着2 ...
和气 氛中的原位拉曼光谱。目前我司的光电测试系统已在国内外各个高校均有服务,欢迎各位老师同学前去调研。关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是目前国内知名光电产品专业代理商,也是近年来发展迅速的光电产品代理企业。除了拥有一批专业技术销售工程师之外,还有拥有一支强大技术支持队伍。我们的技术支持团队可以为客户提供完整的设备安装,培训,硬件开发,软件开发,系统集成等工作。秉承诚信、高效、创新、共赢的核心价值观,昊量光电坚持以诚信为基石,凭借高效的运营机制和勇于创新的探索精神为我们的客户与与合作伙伴不断创造价值,实现各方共赢!对于拉曼产品有兴趣或者任何问题,都欢迎通过电话、电子邮件或者微信与我们联系 ...
新型的无击穿原位拉曼光谱分析方法用于超级电容电池的气体析出的测试。配备532nm的激发波长,采用拉曼光谱法测量气体的分压,允许光学进入超级电容电池的内部体积,可持续性的检测分压,且不会影响电池的性能。原位电化学(二)中央大学:利用LIB-Raman系统对商业LIB中气体析出进行了长期原位检测,并且对演化气体进行拉曼分析。此系统是由气体收集通道,气体传输端口和两个厚玻璃光学窗组成,因此装置是非破坏性和高度可靠的。拉曼信号是通过配备有532nm的激发光源和一个低倍率物镜的商用显微拉曼获得的。RELATED PRODUCTS相关产品XperRam Series通用机身XperRam Raman可选光 ...
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