DMD是一种微光学电子机械系统(MEMS)，它包含一组有±12度倾斜状态的高反射率的铝正交微镜阵列。拥有极高的刷新频率和可编
程的显示控制，可以实现对投影区域光能量的调制。这些DLP芯片通常用于高速工业、医疗和高级显示应用。
光学
作为一种微光学机械电子元件，它有两个稳定的微镜状态(对大多数当前的DMD来说是+12°和-12°)，这是由像素在工作中的几何结构
和静电控制决定的。不上电时，DMD微镜处于平坦状态，上电以后，可以实现双稳态运行，两种偏转位置决定了光的偏折方向。按照
惯例，DMD作为空间光调制器，正(+)状态是向照明方向倾斜的，称为“打开”状态。类似地，负(-)状态偏离了光照，称为“off”状
态。通过编程可以控制每一块微镜的偏转状态和偏转时间，从而实现DMD“光开关”的功能。图1显示了两个像素，一个处于on状
态，另一个处于off状态。这是微镜唯二的工作状态。
图1像素处于开/关状态
机械
在机械上，每一个像素由一个微镜构成，微镜通过一个通孔连接到一个隐藏的扭转铰链上，微镜偏转轴沿正方形微镜的一条对脚线方
向，微镜的底面与如图2所示的弹簧片接触，这样的设计，有助于提高DMD微镜偏转的稳定性和响应速度。该图显示了未上电时处于
平坦状态下的微镜。上电后，图中所示的两个电极可以通过静电作用，将微镜吸附并固定在两种工作位置，实现+12°和-12°度的偏
转。
图2 带有零件标注的微镜像素
电双重cmos存储器
每个微镜下面是一个由双CMOS存储器元件组成的记忆单元，如图3所示。这两个记忆单元的状态不是独立的，但总是互补的。如果一
个元素是逻辑1，那么另一个元素是逻辑0，反之亦然。像素存储单元的状态对微镜的机械位置有一定影响，但加载记忆单元并不会直
接改变微镜的机械状态。
图3 双CMOS像素存储器
存储状态和微镜状态
虽然双CMOS单元的状态决定了微镜的状态，但它不是唯一的因素。一旦微镜方位确定，改变存储单元的状态不会导致微镜翻转到另一种状态。因此，存储状态和微镜状态并不是直接联系在一起的。
微镜时钟脉冲-将内存状态转换为微镜状
为了将CMOS存储器的状态转移到微镜的机械位置，像素必须接收一个“微镜时钟脉冲”(以前版本中称为“复位”脉冲)。这个微镜时
钟脉冲暂时释放微镜，然后根据下面CMOS存储器的状态重新放置它。因此，重要的是在微镜时钟脉冲操作期间不要覆盖内存单元。
各种DMD数据表指定了微镜时钟脉冲发生前后的时间，即数据不能加载到像素CMOS内存中。
这允许预加载像素阵列的内存，并通过一个微镜时钟脉冲同时改变它们的机械位置。
微镜的上电，断电
当DMD“上电”或“断电”时，有一些过程是必要的，以确保微镜的正常操作，我们称之为“复位”。微镜在上电时触底，经过一段
时间稳定后，微镜将保持在这个状态。在断电时，微镜被释放，实现“复位”，这时微镜需要一段时间来达到稳定的平坦状态。只有当
DMD微镜稳定后，下一次上电，DMD才能正常偏转。
展示全部 
展示全部
