一、产品概述
激光光斑漂移问题解析
德国TEM研发的激光束自动稳定系统-Aligna和ualigna系统使用2个PSD 2D探测光束指向和位置偏移量，闭环反馈控制快速反射镜实时
补偿光束偏移，反馈精度可达1urad，反馈带宽>1kHz。系统提供的自学习软件算法可以适用于任意光路布置方案，并进行快速优化锁
定，解决了机械振动引起的位置漂移和高功率激光器引起的角度漂移。Aligna系统大幅提高激光加工精度，并提供自动校准光路功能。
目前广泛应用在太阳能薄膜电池划线、PCB及柔性屏精密切割、激光精密打孔、半导体晶圆在生产制造过程中的切割、测量、曝光控
制等。 此系统已被Manz、BOSCH、三星、LIS、TRUMPF、TOPTICA Photonics、等公司广泛应用。
二、多光路控制系统
快反镜 Kangoo控制软件
系统配置：
• Piezo和Motor嵌套式快速反射镜
• 4D 位敏探测器（光束位置和角度）
• 多光路控制机箱（包含快反镜驱动，探测信号处理模块，PID调节器等）
• 软件（自学习优化算法，全自动闭环稳定，光束坐标及功率监控）
系统特点：
• 连续波和脉冲激光器: 重复频率 0.1 Hz- 200 MHz / 连续波
• 模块化系统, 单装置4光束控制
• 反馈精度: 1 µm, 1 µrad (最低可达 10-100 nm)
• 超大扫描范围: 接近 18°
• 全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz), 任意光束直径
• 高速度:伺服频宽超过 5 kHz ，压电驱动制动器和机械装置多种组合
• 全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作
• 外部测量装置连接件 (功率计, PDs, ...)
三、单光路控制系统
系统配置：
Piezo和Motor嵌套式快速反射镜
4D 位敏探测器（光束位置和角度）
单光路控制机箱（包含快反镜驱动，探测信号处理模块，PID调节器等）
软件（自学习优化算法，全自动闭环稳定，光束坐标及功率监控）
系统特点：
连续波和脉冲激光器: 重复频率 15k Hz- 200 MHz / 连续波
模块化系统, 单光路光束控制
反馈精度: 1 µm, 1 µrad (最低可达 10-100 nm)
超大扫描范围: 接近 18°
全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz), 任意光束直径
高速度:伺服频宽超过 5 kHz ，压电驱动制动器和机械装置多种组合
全计算机控制 (USB, 串口, 局域网) ，完全独立操作
外部测量装置连接件 (功率计, PDs, ...)
四、产品应用
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