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波片1的初始方位角误差和相位延迟δ作为已知量修正四点定标法和E-P定标法。修正后测得的仪器矩阵如图1所示,3种方法的结果基本保持一致。由此表明,非线性zui小二乘拟合方法在偏振定标过程中有效地提高了测量精度,避免了入射光源的偏振效应、定标单元中光学元件初始方位角和相位延迟误差对测量精度的影响。图1 修正后斯托克斯椭偏仪的仪器矩阵x定标结果采用反演的方式来估计仪器矩阵的准确性,即通过测量各角度下的光强值,结合仪器矩阵反演出对应角度的斯托克斯分量,将其与理论值进行对比分析。测量方法为:将校准单元中起偏器的方位角固定为0°,以10°为步长,从0°到360°旋转波片,由此产生37个不同的偏振态,同时用 ...
BS1不存在方位角误差,即θ=0°,根据式(14)标定之后,NPBS1的退偏效应对椭偏参数误差的影响可以表示为:由上式可知,通过标定可以消除退偏效应对测量的影响;但是退偏效应的不稳定,即NPBS的p,s分量透射比、反射比K、反射相移、透射相移的波动,对椭偏测量精度影响很大,且无法通过标定来消除。已有多篇文献指出,NPBS的反射相移、透射相移、透射比和反射比K,受温度、入射角和入射光束偏振态的影响。入射角变化1°,NPBS的和变化约5°,和K变化约5%,且变化规律不同步;而温度引起的相移变化率约为0.12(°)/℃假设×K和+分别变化1%和1°,式(19)给出的椭偏参数误差约为:此时引入的膜厚测 ...
而是存在一个方位角误差θ,则NPBS的琼斯矩阵转换为:为简化分析过程,首先假设NPBS2为理想状态,只将NPBS1的琼斯矩阵用式(11)表示。根据上述分析,可得测量信号和参考信号的光强:其中:开始测量时,可以用反射镜代替被测薄膜,得到一个用于标定的幅值比。和相位差△C。这样NPBS1引入的椭偏参数测量误差就可以表示为:如果假设NPBS1为理想状态,而NPBS2的非理想状态用式(11)表示。根据上述分析,同理可得此时测量信号和参考信号的光强:则NPBS2所引入的椭偏参数测量误差可以表示为:误差分析与讨论NPBS的玻璃基片折射率为1.5416,交错镀4层折射率分别为2.OO和1.45的分光介质膜系 ...
波片没有安放方位角误差时,理论值与实验值完全重合。实验中只要能保证θ=0°,测量波片相位延迟量与标准波片实际相位延迟量无关。所以,利用消光式椭偏仪测量波片相位延迟量的准确度主要与标准波片相位延迟量的准确度及待测波片的方位角误差有关,测量波片相位延迟量的重复性精度由椭偏仪决定。(三)同样,对待测波片相位延迟量为180°或其他角度时也得到类似的结论。图3中data1为标准1/4波片和待测1/2波片均为理想情况下的δ和θ的关系。data2为标准1/4波片和待测1/2波片均为非理想情况下的δ和θ的关系,由图3可知,非标准情况下理论曲线和实验曲线吻合得比较好,图中“*”为实验测量点。图3 待测二分之一波 ...
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