SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
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表征光束轴相对于所在的光学系统固有机械轴的位置。在平行于光学系统机械轴的规定面内,光束轴为连接输入、输出的光束孔径中心的直线。 ...
描述光束位置漂移程度的一个参数。以光束位置漂移的4倍标准差表示。 ...
激光指向稳定在光刻系统应用中的关键作用,及其优化方案!光刻是半导体制造工艺中的核心之一,极紫外光刻技术作为新一代光刻技术也处于快速发展阶段。其基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。光刻半导体芯片二氧化硅的主要步骤包括涂布光致抗蚀剂、套准掩模板并曝光、用显影液溶解未感光的光致抗蚀剂层、用腐蚀液溶解掉无光致抗蚀剂保护的二氧化硅层,以及去除已感光的光致抗蚀剂层。在光刻系统中,激光的指向稳定非常重要,会直接影响光刻的图形准确性和一致性。影响光束指向稳定的主要因素有三个,分别是激光器本身的位置偏移,处于不同基座上的激光器和照明系统 ...
离内至少五个光束位置[ ZR ]和距离腰部超过两个瑞利长度的五个位置),从中可以计算M2,分析使用强度分布方法的D4σ秒矩获得的光束半径的演变。在本节中,我们提供了典型的中红外zblan超连续介质源(NKT Photonics, SuperK Compact, 40 mW输出功率)的M2特性。为了获得中红外超连续光谱发射的光束质量,建立了一种全镜聚焦光学布置(以消除色差):使用焦距750 mm的金色球面镜。使用合适的带通光谱滤波器限制光谱范围(中心波长为4µm或2500 cm- 1500 nm带宽,Thorlabs FB4000-500)。使用固定在20厘米扫描台上的辐射热计阵列(FLIR玻色 ...
系列可能的激光束位置上对准系统更容易。为了获得高的空间分辨率,需要一个平移阶段具有较高的精度和重复性要求。通常,采用压电驱动的弯曲级。这些阶段提供的步长和重复性远远超过光学显微镜(通常小于5 nm)和最大数百微米的平移所要求的。这种制度主要有两个缺点:一是图像的最大视场是由舞台的最大行程决定的,而不是光学。因此,切换到倍率较低的镜头并不能提供大的视野。通常情况下,使用10倍倍率物镜的光学显微镜可以获得>1毫米的视野,但使用压电台则无法获得这些视野。二是这些级的机械共振频率通常将最大扫描速度限制在每行至少数十毫秒(或更高),这意味着它们至少比波束扫描系统慢一个数量级。尽管有这些限制,样本扫 ...
性。3)垂直光束位置(x,y)的精度。4)顶点到传感器的光学距离的精度(z)。5)最大角度下的角度响应下降。通过特殊的涂层,我们可以提高拟合精度和角响应的各向同性。此外,大角度灵敏度的相对下降要弱得多。6 RayCi中的校正要求为了根据角度响应校正图像数据,必须满足以下要求:1)角度响应校准数据必须可用于每个波长。该数据由最佳拟合的Zernike多项式系数组成。2)为了生成从每个像素到相应入射角的映射,必须知道光束垂直的x和y传感器位置。3)需要传感器和激光焦点位置之间的光学距离。4)CINOGY Technologies提供外壳和传感器之间的光学距离作为额外的校准数据。5)外壳和焦点之间的距 ...
规定了确定激光束位置和角度稳定性的方法。本国际标准中给出的测试方法旨在用于激光器的测试和表征。2,引用标准ISO 11145:2001,光学和光学仪器激光和激光相关设备词汇和符号ISO 11146:1999,激光和激光相关设备激光束参数测试方法,束宽、发散角和束传播因子IEC 1040:1990,测量激光辐射功率能量的探测器、仪器与设备3,术语及定义3.1 角向移动 angular movementαx,αy激光光束在X-Z和Y-Z平面内的角向移动量。注:这些量在光轴坐标系X、Y、Z中定义。如果X方向与Y方向的角向移动之比不大于1.15:1,则认为光束的角向移动是旋转对称的,这种情况下只用一个 ...
我们可以扫描光束位置,直到有光打到AimPD的PD探测器上,然后将位置点设置在两个PD的中心。利用这种方式,我们找到的入口中心。下一步,为了找到平行于真空管的方向,特别是贯穿真空管中心线的特定角度,我们要在这个中心点位置扫描光束角度。为了得到反馈信号,我们在真空管后放置一个PSD探测器,或者一个代表真空管出光口中心的附加PD探测器。通过这种方式,使用两个快反镜自动扫描几分钟之内就可以得到穿过真空管的好结果。上图显示真空管后放置了第三个快反镜,用以稳定光束。原则上来说,真空管前的两个快反镜能够进行4D稳定,但是第二个快反镜与PSD探测器间距离太长,导致反馈调整效果下降。因此,一旦扫描完成,第二个 ...
寸,椭圆度,光束位置等参数2.节省新员工培训时间和成本由于其操作简单,对新员工培训到老员工的熟练度只需要1~2天的时间,大大降低了对新员工的培训时间和成本。3.成本低---含税价格低至2万人民币用于通信中准直器在线“调焦”的CINOGY相机式光束分析仪含税价格低至2万人民币(CMOS-1202相机),其高性价比是客户批量使用于产线以及自动化系统的重要原因之一。4.可以和狭缝式光束分析仪相互替代,并且具有更高的准确度以及响应速度由于狭缝式和相机式都属于光束分析仪,其分析软件测量的方法完全一样,所以其在产线中的安装设置基本一致。其不同之处在于激光光束的获取:狭缝式光束分析仪是通过狭缝去快速切割整个 ...
位敏探测器(光束位置和角度)• 多光路控制机箱(包含快反镜驱动,探测信号处理模块,PID调节器等)• 软件(自学习优化算法,全自动闭环稳定,光束坐标及功率监控)系统特点:• 连续波和脉冲激光器: 重复频率 0.1 Hz- 200 MHz / 连续波• 模块化系统, 单装置4光束控制• 反馈精度: 1 µm, 1 µrad (最低可达 10-100 nm)• 超大扫描范围: 接近 18°• 全波段 (标准: 380- 1100 nm, 定制180 nm- 10 µm, THz), 任意光束直径• 高速度:伺服频宽超过 5 kHz ,压电驱动制动器和机械装置多种组合• 全计算机控制 (USB, 串 ...
高性价比!!!焦点光斑分析仪 - CinSpot AUT-1204系列焦点光斑分析仪 - CinSpot AUT-1204系列产品简介:焦点光斑分析仪 CinSpot 系列产品来自德国激光光束分析仪生产厂家 CINOGY 公司,主要是针对聚焦后的激光光束的测量和分析的测量设备,覆盖 UV~NIR 波段,可测量的焦点光斑尺寸为Min. 22um。主要用于测量焦点光斑尺寸、焦点位置、M^2、瑞利长度、激光功率等等。为了有效的帮助国内客户在低成本下就能快速的提高产品性能和售后服务质量,我们通过和国内一些知名3D打印厂商深度合作,推出了一款普适于国内厂商的经济型光束测量工具:CinSpot AUT-1 ...
;0.01°光束位置重复精度MEMS镜:A7M8.1-800ALUSB接口和供电<800mW的功耗80毫米x 55毫米x 30毫米表壳,重量<70克高 级/ OEM用户:具有2个模拟输入和4个数字同步输出的主机连接器高 级/ OEM用户:具有8个数字输出的数字输出连接器更多详情请联系昊量光电/欢迎直接联系昊量光电关于昊量光电:上海昊量光电设备有限公司是国内知名光电产品专业代理商,代理品牌均处于相关领域的发展前沿;产品包括各类激光器、光电调制器、光学测量设备、精密光学元件等,涉及应用领域涵盖了材料加工、光通讯、生物医疗、科学研究、国防及更细分的前沿市场如量子光学、生物显微、物联传感、 ...
,可实时显示光束位置测量坐标及功率变化,通过USB连接,方便集成与二次开发 PSD,位置敏感探测器,位敏探测器,激光束角度测量,光束定位,四象限探测器 上海昊量光电推出市场上性价比很高的PSD位置测量系统,包含位敏探测器,PSD读取器,配套软件。PSD位敏探测系统尺寸小巧,软件功能丰富,可实时显示光束位置测量坐标及功率变化,通过USB连接,方便集成与二次开发。 应用:测量光束指向性测量机械变形代替机械十字瞄准器光学装置多维描述激光束轴向平行和准直 配置方式:波长范围:180nm-400nm380nm-1100nm750nm-1600nm 位置敏感探测器:PSD2D 9*9PSD2D 4*4P ...
度能量分布,光束位置,发散角Pass/Fail设置图形化界面,易上手,可自由设置支持实时测量、数据保存和输出(excel文件和图片格式等)功能介绍视频:CinCam CMOS激光光束分析仪可以被广泛用于:Laser beam analysis of cw and pulsed lasers,Quick control of laser modes and adjustment errors,Test equipment for scientific research,Near-Field and Far-Field analyses of lasers, LED devices and oth ...
高功率焦点光斑分析仪为了满足不同行业和应用领域对聚焦光束的测量需求,德国CINOGY公司推出了CinSpot系列聚焦光束分析仪,覆盖不同领域对功率和光斑的测量要求。波长范围覆盖320-1320nm,可测量的光斑直径Min. 3um,测量功率可达1KW。主要用于测量聚焦光斑尺寸、焦点位置、功率、发散角、M^2以及瑞利长度等。RayCi-Pro软件主要截图:一、400W焦点光斑分析仪:CinSpot FBP-1KF主要特点: 1、体积小:98mm(L) x 98mm(W) x 65mm(H) 2、USB 2.0/3.0接口 ...
镜装置测四维光束位置 n 聚焦光学元件(探测器等)运动, n 控制难以接近位置的光学元件 n 全自动/脚本运动控制Ø 控制旋转制动器 n 偏振光学器件和光闸旋转 n 光强控制/调制电子控制µAligna:紧凑型控制系统- 微控芯片,8bit- 端口: USB(串口,局域网或无线)- 支持多马达驱动制动器(µAligna004/µAligna008分别支持4/8马达,可定制更多)- SPI和I²C总线软件:Kangoo:综合控制程序- 可视化微控制器参量- 任何值和时间日志记录- 2D或4D扫描和测量- 完全可编写脚本- 兼容 Windows 7, Vista, XP, 2k, 9x- 微控制器 ...
独立探测区分光束位置漂移和角度漂移。此4D PSD位敏探测器,采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。关键词:PSD,位置探测器,激光位置探测器,位置灵敏探测器,光电位置探测器, 位置敏感探测器,四象限探测器,位置传感探测器,置灵敏探测器,2D PSD,Position Sensitive Detector,激光位置探测器PSD位敏探测器 此4D PSD位置敏感探测器,采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。PSD 4D i: ...
1,M3扫描光束位置,AimPD探测光束位置zui终光束入射真空管中心。下一步,为了找到平行于真空管的方向,特别是贯穿真空管中心线的特定角度,我们要在这个中心点位置扫描光束角度。为了得到反馈信号,我们在真空管后放置一个PSD4D探测器。通过这种方式,M1,M3在几分钟之内就可以完成理想的光束导出结果。上图显示真空管后放置了第三个快反镜,用以稳定光束。由于导光距离很长,我们使用第三个快速反射镜M2。由PSD4D探测光束指向和位置, M1与M2反馈控制光束稳定,光束漂移可以轻松抑制到1um以下。2.复杂的多转角真空导光管: 为了保证光束导出复杂的多转角真空导光管,需要调整每一个反射镜,使光束 ...
独立探测区分光束位置漂移和角度漂移。采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。 采用两个2D PSD探测器与相关光学元件的有机组合,能够严格探测区分光束的位置漂移与角度漂移,分辨率达到nm级别。PSD 4D i: 工业级Ø 4维测量: 位置 X,Y 和角度 X,YØ 连续光和脉冲激光器(检验光束功率,连续光: 100 μW-10 mW,脉冲:>10 nJ)Ø 高精度: < 1 μm,< 1 μradPSD 4D e: 实验级Ø 类似 "PSD 4D i",但是离散元 ...
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