SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
参与反应的物质在气相条件下发生化学反应、生成的反应物颗粒沉积在某种材料表面形成具有特定结构或者性能的波导、金属、半导体化合物等的一种制作工艺。 ...
用于沉积金属有机化合物的化学气相沉积法。 ...
在等离子态条件下完成的化学气相沉积法。通常用微波作为使参与反应的气体在低气压下等离子体化的能源。 ...
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