中文:化学气相沉积法;英文:chemical vapor deposition / CVD

解释
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参与反应的物质在气相条件下发生化学反应、生成的反应物颗粒沉积在某种材料表面形成具有特定结构或者性能的波导、金属、半导体化合物等的一种制作工艺。