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190-400nm高分辨紫外波前传感器助力半导体行业发展!摘要:本文介绍了紫外波前传感器在半导体检测中的应用。详细阐述了其在晶圆检测、芯片检测、封装检测以及光学元件检测中的具体应用。指出紫外波前传感器能够提供高精度的检测数据,帮助工程师及时发现问题并进行修复,从而提高产品质量和生产效率。上海昊量光电设备有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm。该高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。半导体技术在现代社会中扮演着越来越重要的角色。随着半导体器件尺寸的减 ...
格选取。2.紫外光学元件普通的光学玻璃,当紫外光谱波长小于350nm左右,透过率会减小并且不能长期使用。因此用于紫外 线区的透镜和棱镜材料,如石英玻璃(石英)、氧化铝(蓝宝石)、氟化钙(萤石)、卤化物如氟化镁和氟化锂常 被使用,这些材料的透光区域zui短波长分别约160nm、150nm、125nm、115nm和105 nm。需要注意的是,如果 一束强烈的紫外光照射硅玻璃或氟化锂上,由于中心色差就会使透射率减少,石英玻璃的这种现象已经得到改善;氟化锂则表现出轻微的潮解特性。对于紫外波段使用的光学元件,减轻重量会利于光刻工艺。对于用KrF准分子激光器(波长248nm)、 ArF准分子激光器(波长1 ...
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