SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
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的方法,具备精确导向性、高稳定性、高抗疲劳性的特点,同时搭配高精度硅基位移传感器、16Bit高分辨率高速控制器,具有高响应速度,亚纳米级的分辨率,超低底噪(10-50pm)和超高线性度(0.02%),广泛应用于高精密位移领域,包括但不局限于半导体领域。功能的独特优势包括:亚微米级别的重复定位精度稳定性远远优于同类产品0-1500微米级的移动范围传统压电位移台的特点PIEZOCONCEPT压电位移台的优势-分辨率的局限高分辨率:0.005nm/urad(Max)-有限的运动轨迹范围,平均0-300um移动范围0-1500um移动范围-较低线性度超高线性度(0.02%)-位移传感器存在差异(以电容 ...
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