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e MEMS扫描镜技术概述(2)独特的四象限倾斜性能几年前,MirrorcleTech的无框架技术还处于发展的早期阶段,在一代ARIMEMS1到ARIMEMS6中制造的所有设备都是单象限(1Q)或单向类型设备。这指的是每个轴(仍然是两轴或双轴2D设备)能够使镜子从静止位置(0°)偏转到一边(例如+8°),但不能偏转到另一边(例如-8°)。因此,典型的一象限(1Q)设备实现了X轴上0°到+8°的机械倾斜,Y轴上0°到+8°的机械倾斜。今天,在MEMS镜面行业的产品中,所有设备类型都提供四象限(4Q)光束转向能力,通常允许整体更大的总尖端/倾斜角度(两个轴)。四象限器件的线性化驱动Mirrorcl ...
e MEMS扫描镜技术概述(1)高速的点到点以及倾斜性能大多数的Mirrorcle MEMS Mirror设备类型都是为点对点光束扫描而设计和优化的。稳态模拟驱动电压会产生MEMS镜像的稳态模拟转角。该设备有一个一对一的对应的驱动电压和角度:它是高度可重复的,没有检测到随时间而发生变化。这在很大程度上是由于静电驱动方法和单晶硅材料的选择。镜面运行机构开环驱动的机械倾斜位置精度在每轴上至少14位(16384点)。对于大多数设备,每个轴上的机械倾斜范围为-5°到+5°,这种倾斜分辨率在0.6毫米或10微弧度内。一系列的驱动电压对应点对点扫描的一系列角度。Mirrorcle技术公司(MTI)的设备可 ...
2KHz共振扫描镜的参考输出中恢复出来的,zui终形成了二维的图像(图2c)。在这里AOD有三项指标至关重要,可分辨点数(扫描角度),功率平坦化,扫描速度。AOD的带宽越大,自然扫描的角度也越大,可分辨的点数也越多。扫描时间意味着不同频率间切换的时间,自然也和成像的速度息息相关。而功率平坦化是AOD晶体和驱动器共同优化的结果,为了在扫描的带宽内获得近似的衍射效率,不会使得扫描获得的线性激光阵列中间亮两边暗,提供均匀的激发光。G&H声光偏转器(AOD)可以提供适用于不同波长的型号,在不超过几度的范围内,分辨出成百上千个点,扫描时间可以快至几微秒。G&H为AOD提供光束的精确空间控 ...
AOM和单个扫描镜通过控制软件同步。激光束被AOM“阻挡”,扫描镜开启。就在激光束将处于其正常入射位置之前,AOM被触发,光脉冲被扫描穿过x平面的表面。显微镜的设计目的是在空间和时间上观察磁性结构的动力学。这可以通过相对于磁结构的重复激发缓慢地相位改变光学或电子采样的瞬间来实现。例如,将磁性装置放置在循环磁场中,激光脉冲和随后的数据捕获被定时-或磁场周期中的特定点。另一种模式将使用氩离子激光来模拟MO磁盘上的比特写入过程。然后,在写入过程中的特定时间,使用CCD相机和反射光(来自脉冲激光束)同时实时成像到光电探测器上。进一步的工作将使用扫描近场模块对磁性结构随时间的变化进行成像,其空间分辨率将 ...
后孔径,并将扫描镜位置成像到后孔径上,以避免光束夹击。尽管这张图只显示了一维扫描,但可以使用靠近第一个扫描镜的第二个扫描镜来扫描正交轴,或者可以在这里所示的配置中使用一个两轴扫描镜。虽然这里显示的是简单的单线态透镜,但一个真正的扫描光学系统是由多元件透镜组成的,以获得色差校正和一个平坦的扫描场。扫描系统由扫描镜、一对中继透镜和物镜组成。中继透镜,被称为扫描透镜和管透镜(按光束传播顺序),其目的是在显微镜物镜的后孔径上产生扫描镜的放大图像。这是必要的,因为在焦平面上对焦斑的扫描是通过扫描激光束在后孔径上的入射角度来完成的,激光光斑在该位置的运动是最小的。由于光束夹持(称为“晕光”),在物镜背面孔 ...
测。使用一对扫描镜产生分时的多个激光聚焦,第三个振镜通过光谱仪的入口狭缝将每个聚焦的拉曼信号同步投射到多通道CCD相机上。每个光谱被放置在相机的不同像素行上,以避免附近光谱通道之间的重叠和串扰。多聚焦共聚焦拉曼光谱仪在分析吞吐量或成像速度上比传统的单点共聚焦拉曼系统快10倍以上。然而,这些之前的工作都是基于一维检测技术,例如,沿CCD相机的垂直像素(沿光谱仪的入口狭缝方向)分辨无串扰的拉曼光谱。多通道CCD探测器的垂直尺寸限制了可以同时检测的光谱数量,这最终将限制并行拉曼采集的进一步改进。您可以通过我们的官方网站了解更多拉曼光谱仪、荧光寿命、光电流的相关产品信息。https://www.aun ...
出的MEMS扫描镜(MEMS扫描镜 、MEMS扫描镜开发套件),全部由单晶硅制成,也就是说这种设计使运动部件不包括任何易出故障的部件,例如,金属、聚合物、压电材料等。使其拥有卓越的重复性和可靠性。采用无万向节设计,使大镜面尺寸和大角度偏转的MEMS微振镜拥有更高的速度。实现深度180微米三维成像和多平面快速切换实时成像。该模块由一个快速电动变焦镜头和一对中继镜头组成,在不同深度成像时放大倍数恒定。其中,变焦模块重量1.8克,研究人员可根据实验要求自由拆卸。此外,新型微型化成像探针还可以整个瞬间拔插,大大简化了实验操作,避免了在动物身上进行长周期实验。采用一组神经元在反复加载和卸载探针跟踪,场旋 ...
和非谐振电流扫描镜、多边形扫描镜和微机电扫描镜 (MEMS) 。主要的方法是使用一对电流扫描镜,每个横向维度使用一个,在横向平面中偏转入射光束。图18所示为针对一个横向维度的示例,其中光轴用虚线表示。在物镜的后背孔径,我们要求光束准直入射,这样它就不会离开孔径(渐晕),角度随着扫描仪的旋转而变化。扫描光学系统的目的就是将扫描镜的光束偏转角映射到物镜的入射角。一个简单的解决方案是使用双远心系统将扫描镜图像中继到物镜的后背孔径。 像方远心是指光阑放置在光学器件之前, 这样不同视场角的主光线在焦平面上平行。与像方远心对应的是物方远心,两个系统的串联组合构成双远心。当扫描镜头 ...
虽然对于商用扫描镜头来说,这是一个很好的一阶近似,但对于真实的扫描系统,场曲的影响也很重要,因为它会扭曲图像平面上的光斑尺寸。此外,由于对于更快的马赛克成像较大的 FOV 是可取的,因此问题只会随着我们扫描的离轴越远而变得更加复杂。如果没有傍轴近似,即使是轻微的偏转也会导致焦点偏离最佳聚焦位置——这是在轴上的光传播中实现的。标准的消色差透镜的设计不仅可以最小化色差,而且通常还可以最小化球差。但是,这种优化只是针对轴上的光。因此,当准直激光束通过标准消色差透镜离轴扫描时,光束存在明显像差,包括球差、慧差、像散和场曲。然而,如前面在5.2节中讨论的,某些镜头是专为扫描应用设计和优化的。图19显示了 ...
擎由三个商业扫描镜头(SL1-3)、一个共振扫描仪(resonance scanner)、一个二维扫描反射镜、一个定制的扫描镜头(SL4)至于合束PBS之前组成。合束的光进入一个定制的tube lens,随后进入定制的物镜(OBJ)。一个长通二向色镜(IR/VIS dichroic)用于分离激发光和发射光。b、FPU设计。每一个FPU安装在一个机械XY位移台上,包含一个电动可调镜头(electrically tunable lens, ETL)和一个中继镜头。c、扫描区域定位示意图。四个子区的每一个能扫描的区域达~0.75平方毫米。每一个扫描臂有3mm的臂视场,在这个臂视场范围内,可以使用FP ...
延时台,以及扫描镜泵浦光和斯托克斯光通常会使用电光调制器(EOM)或声光调制器(AOM)进行调制。调制频率通常在兆赫兹的频段。这样可以有效的降低光热效应,提高图像采集的速度。在这个应用指南中,我们将使用AOM对泵浦光在2兆赫的频率进行调制。在光路中,一个电动延时台被用来准确的调节泵浦和斯托克斯光之间的延时。对于光谱对焦的SRS来说,这个延时台同时被用来微调两束光之间的能量差。像大多数非线性光学成像系统一样,SRS和CARS的成像大多使用的是光束扫描的方法。一堆振镜被放置在物镜前对光线进行扫描。在这个展示中,我们使用了一对Thorlabs的GVS 102振镜。物镜,聚光镜,探测器,数据采集当激光 ...
快反镜是光电精密跟踪系统中重要的一部分,用来精确控制光束方向。快反镜响应速度快,控制精度高。可以用来校正光路中的倾斜误差,也可以用来稳定光束的指向,还可以用在快速跟踪系统中。快反镜在驱动元件作用下控制反射镜面的快速高频转动,实现光束的高速精确指向、稳定和跟踪。压电陶瓷驱动器是快反镜理想的驱动方式。压电陶瓷驱动的快反镜由反射镜、柔性铰链、压电陶瓷驱动器、基座、电阻应变片式传感器和电路结构等组成。如下图所示:在快反镜中使用的压电陶瓷需要纳米级别的高分辨率。压电陶瓷的使用可以显著提高谐振频率和灵敏度。压电陶瓷的工作利用了压电效应。某些物质受到外力时,不仅几何尺寸发生变化,而且内部极化。表面电荷出现形 ...
一个主动压电扫描镜和光纤后的强度信号,组成一个反馈回路。这个简单装置有三个作用:1.它帮助了光束到光纤的初始耦合2.它极大简化了耦合效率的优化过程3.它保持了耦合稳定,补偿了光束和光纤调整架的漂移实际上,FiberLock甚至能够弥补激光器的强度噪声,2.4有详细描述。2.1 初始耦合当第一次耦合进光纤时,不得不盲目的扫描对准不同的自由度。仅当探测到耦合进的一定的光通量,我们才会有开始优化的反馈信号。图3致动器的角度扫描提供耦合效率的三维可视化图像使用一个活动压电驱动反射镜,足够快的盲目扫描实时显示耦合效率与反射镜位置的对应三维图像,如图3所示。由于致动器的扫描范围比光纤内径高1或2个数量级, ...
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器、MEMS扫描镜、闭环扫描镜、PPLN、光束分析仪、声光产品、非球面透镜、激光振动传感器、光学麦克风、激光驱动白光光源等各大领域创新产品及相关行业应用解决方案。上海昊量光电设备有限公司诚挚邀请您莅临激光技术及智能制造展4号馆 4B182+185展位参观、交流及业务洽谈。一、展会信息:展会时间:2023年9月6日-9月8日(周三-周五)展会地点:深圳国际会展中心(宝安新馆)展会规模:展会展示规模达22万平方米,汇聚3000家展商,逾10万的观众参观二、昊量光电所在位置:展馆:4号馆(激光技术及智能制造展)展位面积:18平方米展位号:4B182+185展位图:三、重点展品:更多产品请扫描下方二维 ...
导、MEMS扫描镜、碘稳频可调谐激光器、 Minus K 负刚度隔震平台/隔振平台、激光光束分析仪/Laser Beam Profiler、激光光束指向稳定系统、asphericon 透镜、准直器全自动调试系统、光谱可调谐LED光源、皮米精度位移干涉测量仪、高亮度白光点光源LS-WL、膜厚测量仪、时域热反射测量系统等产品至展会现场,为广大客户展示我们产品的技术和应用。展品简介:1. OLED行业高精度、高速专用色度计 上海昊量光电代理的荷兰Admesy公司生产的色度计,具有悠久的产线光学测量历史,专注于光和颜色测量,特别是在OLED\LCD显示行业。Admesy的主要产品有色度计(MSE,Hy ...
无万向节MEMS扫描镜光学扫描镜是一种矢量扫描设备,能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高,且多为散装,大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点,以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。按照扫描维度不同,MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜,一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转,二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描,可以选用两个一维的扫描镜,也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大 ...
大偏转角度微型振镜上海昊量光电设备有限公司推出的微型振镜是一款体积紧凑的大镜面微型振镜。该振镜促动器技术成熟的电磁驱动。单个镜面可提供二维光束偏转,镜面尺寸可达到15mm,该设备不仅可以提供较大的镜面尺寸,光学偏转角度更是可达到±50°该系统包含一个位置反馈系统,设备的整体分辨率可达到5urad。此外还提供镜面尺寸为10mm的谐振镜,X轴谐振扫描,速度可达250Hz,光学偏角正负25°,Y轴静态可控偏转,光学偏角±50°,速度可达20Hz。微型振镜Develop kits图片:微型振镜OEM版本:大角度闭环微型振镜主要特点:l 大的镜面尺寸l 大的光学偏角蕞大可达+/- 50°l 闭环控制精度 ...
面转镜/多面扫描镜系统 ...
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