SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
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种性能优异的固体润滑膜可很大程度的降低纳米机电系统的摩擦和粘附。在此研究中,运用了一种原子层沉积法(ALD),由于其优异的机械灵活性、良好的热稳定性和低的自由能等特点,此方法作为一种表面控制薄膜制备技术被广泛应用于二维MoS2薄膜的合成。MoS2薄膜通过等离子辅助过程沉积在基地物上而被用于控制摩擦力。首先,通过ALD在Al2O3衬底上沉积的MoS2薄膜的层数可以直接由ALD循环次数控制。通过使用拉曼光谱(XperRam C,NANOBASE,532nm激光光源下,激光光斑尺寸为1mm,功率为0.6mW)证明了薄膜层数和ALD圈数之间成线性关系,且随着薄膜层数的增加摩擦减少,即随着MoS2厚度的 ...
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