SCMOS相机 光束分析仪 DMD 光纤束 合束激光器 共焦 拉曼光谱仪 锁相放大器 无掩膜光刻机 高光谱相机
您对搜索结果满意吗?
SDTR一种薄膜面内各向异性热导率的测量方法近年来,随着半导体行业的迅猛发展,半导体元件的体积急剧减小,对芯片或薄膜材料的热物性探究至关重要,这样给予针对超小尺寸的热物性探测技术提供了发展需求,而其中基于光学的热反射法的发展使得小尺寸(亚微米)样品的热导率测量变得容易。在频域热反射法FDTR测量中:锁相放大器的参考相位需要被精确计算以减小对相位滞后信号的影响。SDTR-(SpecialDomain ThermalReflection)空间热反射同样是基于激光泵浦-热反射的探测技术,可以针对小尺寸薄膜样品的面内热物性的测量方法。相比于其他激光泵浦探测方法(如:TDTR,FDTR)它的优势是可以测 ...
空间域热反射SDTR基于的光学交流量热法进入微尺度以后材料的热物性与宏观尺度相比发生了很大的变化,分析和测量微尺度下材料的热物性参数对微尺度传热理论分析和研究微器件的热传导能力及散热速度具有重要的意义。交流量热法是测量薄膜热扩散率的有效方法之一,适合测量半导体、金属、非金属等多种薄膜材料。图1:交流量热法的测量原理图[1]交流量热法的测量原理如图1所示。当一定频率和一定脉冲宽度的激光加热样品时样品表面上会呈现出同频的交变温度波。在一定距离上该温度波的衰减和相位滞后与样品的热物性有关。根据已知一定距离上不同两点间的温度波可以通过温度波的幅度衰减或相移计算出样品的热扩散率。当样品厚度远远小于热扩散 ...
热反射测量法SDTR的原理介绍1.光学交流量热法空间域热反射测量法SDTR是一种基于交流量热法的热导率测量方法,可用来测量直径0.05mm以上的薄膜或块体样品的面内热导率。测热导率范围为误差约为5%。SDTR中采用经过调制的直径小于激光(频率f一般为100HZ-100KHZ)加热样品表面,并用探测光测量样品距离激光加热点x处的交流温升导致的反射率同频变化信号。在一维导热假设下,该温升信号可表达为其中成为热扩散长度,Kx表示为样品表面上x方向的热导率,c是样品的体积比热容,f是激光的调制频率,h是样品厚度,Q是吸收的热流密度。通过计算上述公式可以得到样品表面上,距离调制热源一定距离下的样品表面同 ...
SDTR的测试数据形式简介和测试样品要求空间域热反射法SDTR适合测量薄膜样品或块体的面内热导率kr,是一种激光泵浦探测法,通过测量泵浦光在样品上生成的温度场来测定样品的面内热导率;通过另一束探测光束探测在样品处的微小反射率变反应出样品处的温度场,随着泵浦与探测光在样品上的焦点分离距离的增加,探针位置温度场的相位滞后增大,振幅也迅速减小。图1:SDTR的相位扫描曲线示意图(1kHz、10kHz、50kHz三种频率下的相位)在扫描中心附近,相位分布主要由泵浦光束和探针光束的有限尺寸决定,但随着扫描距离增大,相位曲线变成线性的,并且其斜率与薄膜和衬底的热导率和扩散率有关。图2:SDTR的相位(a) ...
域热反射法(SDTR)等。这些热反射法的特点是采用一束经调制的激光周期性加热样品,采用另一束激光作为探测光,通过被加热样品表面的反射率随温度的线性变化来测量样品表面的局部温度变化,从而确定样品相关的热物性(例如图1中的FDTR传统光路示意图)。由于探测激光可以由高倍显微物镜聚焦在样品表面形成微米直径的光斑,从而实现微米级分辨率的加热和温度探测,因此该方法极大地放宽了对样品尺寸的限制。另外基于热反射法的实验可建立多层结构的三维各向异性传热模型,因此该方法不再局限于测量特定厚度的悬空薄膜材料,还可同时测量有衬底的薄膜材料以及块体材料。图1:传统FDTR光路示意图(其中泵浦光波长488nm,探测光波 ...
的金属材料在SDTR的探测光束的波长处有较高的热反射系数,对于常见的金属材料的热反射系数见下图(b);同时还要考虑传感层的金属材料对SDTR泵浦光有较高的吸收系数(a)。图:常见金属材料对光的吸收系数(a)和热反射系数(b)对于SDTR的样品还要保证表面光滑均匀,这样不仅方便照射至样品的探测光束能更好地被反射至探测器中,还能使在SDTR同一次测试扫描的空间范围内不会因表面粗糙度的不均匀而带来较大的数据误差,至少保证在一次的SDTR测试的扫描空间范围内的粗糙度是均匀的;这也限制了样品的理论尺寸下限,该范围的大小跟聚焦在样品处的光斑大小相关,例如泵浦和探测光斑直径若为10μm,则该范围约为直径10 ...
显示更多
或 投递简历至: hr@auniontech.com