二维压电平移台--高精度亚纳米压电陶瓷平移台
高精度亚纳米二维压电平移台!
上海昊量推出的二维压电平移台采用压电陶瓷直推,二维压电平移台以柔性铰链为导向使其具有结构紧凑、体积小、无机械摩擦、定位分辨率高等优点,采用硅位移传感器,二维压电平移台相比于传统的电容式位移传感器,硅传感器使平移台拥有更高的精度和线性度以及较低的底噪。二维压电平移台的精度可以达到亚纳米,底噪低至10pm。
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昊量光电推出的压电平移台是为了满足超精密定位应用的需求。该平移台采用压电陶瓷驱动,以柔性铰链为导向使其结构紧凑、拥有小的体积、无摩擦、无间隙、定位分辨率高等优点。采用硅高精度位移传感器,与电容位移传感器相比拥有更高的精度、线性度和非常低的底噪。由于其具有较高的精度、线性度和较低的底噪等优点,被广泛的应用于超分辨率显微镜,光学捕获和原子力显微镜等领域。
上海昊量光电推出的二维压电平移台主要有以下几款产品。
①超快二维压电平移台
超快二维压电平移台有两款AU-LFHS2和AU-LTHS2
AU-LFHS2平移台是一款超快的亚纳米定位平台,可以在X, Y两个方向上提供75μm的行程。在平移台的中心拥有一个边长为66mm的方形通光孔,如果需要该平移台可以与Z轴运动的一维平移台集成为三维运动平台。AU-LFHS2是一款快速的位移平台,其两个轴的谐振频率可达到2000Hz,使用高速控制器控制时,其相应时间可达到2ms。
AU-LTHS2也是一款超快的平移台,两个轴的谐振频率可达到1000Hz,行程可达到75μm,在压电陶瓷平移台的中心拥有一个83*66mm的长方形孔径,该尺寸刚好可以把载玻片放置在该平台上。AU-LTHS2二维压电陶瓷平移台,厚度只有20mm,因此十分容易集成到倒置显微镜上。
这两款平移台均可配合低分辨率的平移台使用形成高精度平移台。
图1 AU-LFHS2平移台 图2. AU-LTHS2平移台
②超薄二维压电平移台
AU-Bio是一款超薄的二维压电平移台,厚度只有15.6mm,它可以集成在任何倒置显微镜上,平移台中心拥有一个54*83.6mm矩形通光孔。
AU-LT2也是一款超薄的压电平移台,可提供100/200/300μm不同行程的平移台,由于其超薄的厚度使其可以与各种类型的倒置显微镜配合使用。此外该平台中心拥有一个66*66mm的方形孔径。
这两款超薄平移台的材质为Al,如果应用需要也提供不胀钢材质的平移台,这样平移台会拥有更好的热稳定性。
图3. AU-Bio平移台 图4. AU-LT2 平移台
③超紧凑二维压电平移台
AU-C-2.100是一款超紧凑的亚纳米闭环控制平移台,该平移台两轴可提供100μm的行程,但是其体积只有48.5*48.5*30.3 mm,其紧凑的设计使其是许多应用的理想工具,例如:光纤对准、双光子聚合和激光写入应用等。
AU-LF2也是一款紧凑的平移台,可提供100/200/300μm 三种不同的行程。其中心有一个66*66 mm的方形孔径,非常适合即要求有孔径又对体积有限制的应用。
图5.AU-C-2.100平移台 图6.AU-LF2平移台
产品特点
高分辨率(0.01nm)
高速度,自振频率可达2000Hz
采用硅传感技术
超低底噪
柔性铰链导向
主要应用
纳米刻蚀
超分辨显微镜
共聚焦显微镜
自适应光学
粒子追踪
产品参数:
Unit | AU-LF2 | AU-Bio2 | AU-LT2 | AU-C2.100 | AU-LTHS2 | AU-LFHS2 | ||||||||
Range of motion | mm | 100 | 200 | 300 | 100 | 200 | 300 | 100 | 200 | 300 | 100 | 75 | 75 | |
Resolution | nm | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.1 | 0.2 | 0.3 | 0.1 | 0.075 | 0.075 | |
Typical noise floor | nm | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.01 | 0.02 | 0.03 | 0.01 | 0.0075 | 0.0075 | |
Full range repeatability | nm | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.2 | 0.4 | 0.6 | 0.2 | 0.15 | 0.15 | |
Linearization (typical) | 0.02% | |||||||||||||
Resonant frequency | Hz | 500/300 | 400/250 | 300/200 | 500/400 | 400/350 | 300/250 | 500/400 | 400/350 | 300/250 | 400/250 | 1500/1000 | 3000/2000 | |
Stiffness | N/mm | 0.6/0.35 | 0.5/0.3 | 0.4/0.25 | 0.6/0.5 | 0.5/0.4 | 0.4/0.3 | 0.6/0.5 | 0.5/0.4 | 0.4/0.3 | 400/250 | 2/2 | 4/3 | |
Maximum load : | ||||||||||||||
horizontal use | Kg | 1 | 0.5 | 0.5 | 1 | |||||||||
vertical use | Kg | 0.5 | 0.1 | 0.3 | 0.5 | |||||||||
Sensor | Silicon HR sensor | |||||||||||||
Material | Al | |||||||||||||
Cable length | m | 2 | ||||||||||||
Controller | Standard
| High speed |
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